當(dāng)前位置：沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>混氣系統(tǒng)>>多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) 水冷系統(tǒng)

多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) 水冷系統(tǒng)

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地沈陽市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-07-26 09:34:15瀏覽次數(shù)：328次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  混氣系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：979條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi)，管式爐可以放在移動架上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥，可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用，廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。

產(chǎn)品型號	混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z、混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z、混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z
主要特點	精度高，運行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：185-245V 50Hz 2、輸出功率：18W 3、控制范圍：GSL-2Z控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM GSL-3Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM GSL-4Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM 4、壓力：3×10⁶ Pa 5、準(zhǔn)確度：±1%FS 6、線性：±0.5-1.5% 7、重復(fù)精度：±0.2%FS 8、響應(yīng)時間：氣特性1-4s，電特性10s針閥：316不銹鋼 9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa 10、壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混氣罐：Ø80mm×120mm 12、截止閥：Ø1/4″，316不銹鋼針閥 13、工作溫度：5-45℃
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：600mm×600mm×650mm