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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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500oC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4

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更新時(shí)間:2023-06-30 18:40:24瀏覽次數(shù):211次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

500oC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:500ºC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4是一款電動(dòng)真空平板式真空熱壓機(jī),專門(mén)用于晶片的焊接和薄膜轉(zhuǎn)移,其可處理樣品尺寸為100mm×100mm,工作溫度為500,在此溫度下可對(duì)樣品實(shí)加的壓力為6T(七月份更改為壓力40T。

500ºC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4操作視頻

 

產(chǎn)品型號(hào)

500ºC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4

主要特點(diǎn)

1、加熱平臺(tái)中間嵌有1000W的加熱管,可達(dá)到快速加熱的效果;加熱平臺(tái)頂端設(shè)有水冷管(當(dāng)工作溫度高于200 ℃時(shí)請(qǐng)注入冷卻水(>15L/min)),以達(dá)到快速冷卻的效果。

2、采用兩個(gè)精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺(tái),且可設(shè)置30段升降溫程序,采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),并帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

3、使用控溫軟件和PC接口可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入計(jì)算機(jī)。

4、數(shù)字壓力顯示器安裝在真空腔體外,可設(shè)置其壓力,當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)置值時(shí)電機(jī)將自動(dòng)停止。

5、液壓裝置和加熱臺(tái)都置于真空腔體內(nèi),且腔體采用304不銹鋼制作,并焊有加強(qiáng)筋(防止真空狀態(tài)下腔體變)。

6、真空腔體前端設(shè)有觀察窗。

7、一個(gè)高靈敏度的真空計(jì)安裝于真空腔體上,測(cè)量?jī)?nèi)部的真空度。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC208V-240V 50Hz/60Hz

2功率:2500W

3、加熱平臺(tái):采用高溫合金鋼制成,可承受溫度500℃,尺寸135mm×135mm,兩平臺(tái)間可移動(dòng)距離15mm

4、液壓泵:40T的電動(dòng)液壓機(jī)與真空腔體相連接,壓力控制精度為±0.01MPa0.1kg/cm2),自動(dòng)壓力控制并帶有數(shù)顯

5、工作溫度:500

6、升溫速率:<10/min

7、控溫精度:±1

8、真空度:10E-3torr

9、內(nèi)部腔體尺寸:372mm×420mm×480mm

10、觀察窗口:Ø150mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:600mm×500mm×400mm


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