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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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GSL-450-PLD激光鍍膜設(shè)備

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 20:30:01瀏覽次數(shù):84次

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產(chǎn)品簡介

GSL-450-PLD激光鍍膜設(shè)備

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。與同類設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作及清理方便的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料粉末的理想設(shè)備。

 

產(chǎn)品型號

GSL-450-PLD(Pulsed Laser Deposition)

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機,水溫小于25℃,水壓0.25-0.4Mpa,流量高于12 l/min(加注純凈水或者去離子水);

2、電:AC380V 50Hz,功率大于10KW,波動范圍:小于±6,必須有良好接地(對地電阻小于2Ω);

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氮/氬氣(純度99.99%以上),需自備氮/氬氣氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥

4、場地面積設(shè)備尺寸2000mm×2000mm,承重1000kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要(外排廢氣管道)。

主要特點

1、由于激光光子能量很高,可濺射制備很多困難的鍍層:如高溫超導(dǎo)薄膜,陶瓷氧化物、氮化物薄膜,多層金屬薄膜等;

2、體積小,操作簡便可以非常容易的連續(xù)融化多個材料,實現(xiàn)多層膜制備

3、可以通過控制激光能量和脈沖數(shù),精密的控制膜厚;

4、易獲得期望化學(xué)計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性;

5、沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻;

6、工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),對靶材的種類沒有限制。

技術(shù)參數(shù)

1、極限真空度:≤6.67x10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后);

2、系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;

3、系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣后,再開始抽氣,20分鐘可達到5x10-3 Pa。

基片參數(shù)

1、基片尺寸:可放置φ2″基片(帶擋板);

2、基片加熱溫度 800℃±1℃,由熱電偶閉環(huán)反饋控制,采用抗氧化材料作加熱器;

3、基片可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分,電機驅(qū)動磁耦合機構(gòu)控制;

4、基片與靶臺之間距離30~90mm可調(diào)。

轉(zhuǎn)靶參數(shù)

1、每次可以裝四塊靶材,靶材尺寸:φ1φ2″;
2、每塊靶材可實現(xiàn)自轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分,連續(xù)可調(diào) ;
3靶通過電機控制換位,靶材屏蔽罩將4塊靶材屏蔽,每次只有一個靶材露出濺射成膜,以避免靶材之間的交叉污染。

真空腔體

1、球型真空室尺寸Ф450mm,選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造,氬弧焊接,表面進行特殊工藝拋光處理,接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封;

2、真空腔體帶RF150活開門,方便取、放樣品;

3、RF100法蘭2套1套紫外石英玻璃窗口用于激光器,另1套盲板紅外石英玻璃窗口用于測溫可選配);

4、RF100光學(xué)玻璃窗口1(用于觀察)。

產(chǎn)品規(guī)格

整機尺寸:1800mm×1000mm×1600mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

電源控制系統(tǒng)

1

2

真空獲得機組

1

3

真空測量

1

關(guān)鍵詞:減壓閥 熱電偶 加熱器

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