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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間:2023-06-30 21:35:06瀏覽次數(shù):216次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開(kāi)發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀配備有兩個(gè)靶槍,一個(gè)弱磁靶用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個(gè)強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),且可使用的材料范圍廣,是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。

 

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-600-2HD

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥

4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、配置兩個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。

2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

3、體積小,操作簡(jiǎn)便。

技術(shù)參數(shù)

1、電源電壓:220V  50Hz

2、功率:<2KW(不含真空泵)

3、極限真空度:9.0×10-4Pa

4、樣品臺(tái)加熱溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度)

5、靶槍數(shù)量:2個(gè)(可選配其他數(shù)量)

6、靶槍冷卻方式:水冷

7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)

8、直流濺射功率:500W;射頻濺射功率:300W。(靶電源種類可選,可選擇兩個(gè)直流電源,也可選擇兩個(gè)射頻電源,或選則一個(gè)直流一個(gè)射頻電源)

9、載樣臺(tái):Ø140mm,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。

10、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

11、工作氣體:Ar等惰性氣體

12、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,一路為100SCCM,另一路為200SCCM。

產(chǎn)品規(guī)格

1、主機(jī)尺寸:500mm×560mm×660mm

2、整機(jī)尺寸:1300mm×660mm×1200mm

3、真空室規(guī)格:φ300×300mm

4、重量:160kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

直流電源控制系統(tǒng)

1套

2

射頻電源控制系統(tǒng)

1套

3

膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)

1套

4

分子泵(德國(guó)進(jìn)口)

1臺(tái)

5

冷水機(jī)

1臺(tái)

6

冷卻水管(Ø6mm)

4根

可選配件

金、銦、銀、白金等各種靶材


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