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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時(shí)間:2023-06-30 22:12:23瀏覽次數(shù):151次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳細(xì)介紹: 小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW是一款小型粉末包覆系統(tǒng),主要有2英寸磁控濺射頭和振動(dòng)樣品臺(tái)組成。粉末在振動(dòng)樣品臺(tái)上振動(dòng)翻滾,通過濺射在粉末表面進(jìn)行包覆形成核殼結(jié)構(gòu)。直流磁控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。(更新日期2019.1.10)

 

產(chǎn)品型號(hào)

小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要(可選配我公司冷水機(jī))。

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、可對(duì)粉體材料進(jìn)行表面包覆:采用磁控濺射,濺射時(shí)粉體材料在振動(dòng)樣品臺(tái)上翻滾,達(dá)到粉體表面均勻包覆

2、設(shè)備小巧可在手套箱內(nèi)使用,可處理樣敏感性材料

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電壓:220 VAC 50/60Hz

2、電源輸出:1600 VDC 250 W

3、電流:150 mA .

4、濺射頭:2英寸角度可調(diào)節(jié)濺射頭

5、振動(dòng)樣品臺(tái):

樣品臺(tái)振動(dòng)頻率可調(diào)節(jié):6-33Hz

樣品臺(tái)直徑為50mm

建議樣品量: < 500 mg

建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um

石英腔體尺寸:165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H

6、真空度:

①1.0E-2 Torr(采用機(jī)械泵),可濺射Au, Ag, Pt, Cu, Mo等靶

② 1.0E-5 Torr(采用分子泵),可濺射Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn等易氧化金屬靶真空度可達(dá)到< 4.0E-6 Torr(分子泵系統(tǒng)抽時(shí)間12小時(shí),腔體進(jìn)行烘烤)

7、CE認(rèn)證

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸:長(zhǎng)460×寬330×高810mm  凈重:20Kg

注意事項(xiàng)

警告:

1、濺射頭與高壓電源相連接,操作時(shí)必須佩帶防護(hù)手套

2、濺射前必須確保靶材,濺射頭,基片和樣品臺(tái)清潔,需要用砂紙和乙醇來清洗,Al或是Ni靶每次使用時(shí)都必須清洗和處理

注意:粉末樣品必須干燥和分散


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