HORIBASEC-E40質(zhì)量流量控制器堀場HORIBASEC-E40適用于從微小流量到大流量控制的低成本型號概要·適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪

詳細介紹

HORIBA SEC-E40 質(zhì)量流量控制器
堀場HORIBA SEC-E40 適用于從微小流量到大流量控制的低成本型號

概要
· 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪。
· 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號： SEC-E40MK3/E50MK3
HORIBA SEC-E40 質(zhì)量流量控制器技術規(guī)格

型號	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (質(zhì)量流量計)	E40	E50
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號		非通電時　關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2〜99% F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)		0〜99% F.S.
響應速度		1秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d)　10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5〜50℃(精度的確保：15〜35℃)
流量設定信號		0.1〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2〜99% F.S.
流量輸出信號		0〜5VDC(最小負荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2		1/4SWL 類型

型號	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E60	E70	E80
	SEF- (質(zhì)量流量計)	E60	E70	E80
適用氣體種類*1		N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀		N₂、O₂、Air、H₂
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼
閥門型號		非通電時　關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		5〜99% F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)		0〜99% F.S.
響應速度		1秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直線性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反復性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差壓值值(適于SEC系列)		100〜300kPa(d)	200〜350kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa・m³/s(He)以下		450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)
使用環(huán)境溫度		5〜45℃(精度的確保：15〜35℃)
流量設定信號		0.25〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5〜99% F.S.
流量輸出信號		0〜5VDC(最小負荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源		＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2		3/8SWL 類型		1/2SWL 類型

SEC-E40 質(zhì)量流量控制器
*1:關于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：值300kPa(G)；SEC-70/80：值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。

質(zhì)量流量控制器 SEC-E系列
適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪。低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號： SEC-E40MK3/E50MK3

關鍵詞：質(zhì)量流量控制器流量控制器質(zhì)量流量計流量計