AC200程控伺服型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng),采用與track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產(chǎn)品中的達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和的可重復性。
兩種型號可選:AC200-SE(標準型)、AC200-PE(型)
特點:
的內(nèi)部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。
7寸觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
“密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。
標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進行定制。
采用工業(yè)級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。
排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
主要性能指標:
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料(HDPE)
旋涂程序:最多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選)
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 :小于±1rpm(AC200-SE);小于±0.1rpm(AC200-PE)
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復性: 1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE)
AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能
工藝時間設定: 0-3,000sec/step,時間設置精度:0.1sec
支持尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)
旋涂作業(yè)均勻性:小于; ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
產(chǎn)品外型尺寸:433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構(適于嵌入式手套箱或工作臺內(nèi))
