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深圳市科晶智達科技有限公司


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GSL-1100X-III-D11 大面積雙管石墨烯生長爐

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品       牌

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更新時間:2022-12-12 14:35:44瀏覽次數(shù):436次

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-III-D11是一款三溫區(qū)的大型雙管爐,其溫度可以達到1100℃

詳細介紹

GSL-1100X-III-D11是一款三溫區(qū)的大型雙管爐,其溫度可以達到1100℃。特殊的雙管設(shè)計,是為了通過CVD方法在箔材上大面積生長材料(面積:~7000 cm^2,箔材纏繞在內(nèi)管的外壁上)。一個送管裝置可以將內(nèi)管輕易送入外管內(nèi)部和從外管中取出。此款設(shè)備特別適合大面積生長石墨烯和柔性電極材料。

性能指標和基本配置
產(chǎn)品特點

● 雙管設(shè)計:外管直徑Φ280mm,內(nèi)管直徑Φ254mm,箔材可以纏繞在內(nèi)管外壁上,然后進行CVD生長
● 手動操作送管器,可以輕松的將內(nèi)管送入和移除外管
● 900mm長的恒溫區(qū)可提供7000cm^2的管狀生長區(qū)域

加熱區(qū)&溫度控制

● 三個加熱區(qū):(總加熱區(qū)長度:1230mm)
溫區(qū)1: 410mm (16")
溫區(qū)2: 410mm (16")
溫區(qū)3: 410 mm (16")
● 三個溫區(qū)都采用PID方式控制溫度,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃
● 熱電偶:Omega K型鎧裝熱電偶

工作溫度

● 工作溫度:1100℃(小于1小時)
● 連續(xù)工作溫度:1000℃

升溫速率

● 10℃/min (RT~800℃)
● 5℃/min (800~1100℃)

輸入電源

● AC 380VAC三相, 50/60 Hz
● 功率24 KW

爐管

● 兩根高純石英管
外管尺寸: 280mm O.D. x 270 mm I.D. x 2070 mm L
內(nèi)管尺寸:254mm O.D. x 244 mm I.D. x 2310 mm L

真空密封法蘭

● 配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封
● 右端法蘭采用KF25接口用于連接真空泵
● 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應(yīng)氣體
● 一個機械壓力表安裝在左端法蘭上
● 兩端法蘭上都安裝有石英管堵,可保證管式爐的恒溫區(qū)
● 真空度: 10^-2 torr(采用機械泵); 10^-4 torr (采用分子泵)
1

送管器

手動操作送管器,可以輕松的將內(nèi)管送入和移除外管
1

儀器尺寸

5400L x 770W x 1500H mm(包含送管器)
1

重量

600 kg

可選

● 可在本公司購買生長石墨烯的銅箔(150m m L x 150mm w x 25um t)
● 可在本公司選購輥壓機,對石墨烯進行干法轉(zhuǎn)移
● 可選購小型氣液混合器,進行CVD生長
1 1

應(yīng)用注意事項 ● 爐管為高純石英爐管,設(shè)計只能在真空或常壓環(huán)境下使用,所以爐管內(nèi)部氣壓需<0.02MPa。
● 若要向爐管內(nèi)通入氣體,所用氣瓶上必須安裝減壓閥,可在本公司購買減壓閥。
● 當設(shè)備使用溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)部不可處于真空狀態(tài)如要大量通入可燃性氣體,如H2或CH4,請與本公司聯(lián)系,為保證安全建議在通風(fēng)柜中操作,房間內(nèi)安裝H2和CH4探測器。
質(zhì)量認證

所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認證CE認證/若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
1

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。
暫無內(nèi)容
  • GSL-1100X-III-D11 大面積雙管石墨烯生長爐(英文版操作視頻)
    GSL-1100X-III-D11 大面積雙管石墨烯生長爐(英文版操作視頻)


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