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SMC（中國）有限公司


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高真空閥

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產(chǎn)品簡介

高真空閥

詳細(xì)介紹

鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G


?采用鋁制主體
　均一的烤焙溫度
　重量輕、外形緊湊
　放出氣體少
　重金屬污染少
?可更換波紋管
下載
其他資料
系列操作方式閥形式軸密封
方式		用途法蘭
尺寸
XLA-2氣控單作用
（N.C.）		波紋管密封除塵
凈化		16～80
XLAV-2（帶電磁閥）氣控單作用
（N.C.）		波紋管密封除塵
凈化		16～80
XLC-2氣控雙作用波紋管密封除塵
凈化		16～80
XLF-2氣控單作用
（N.C.）		O形圈密封高速動(dòng)作
高動(dòng)作次數(shù)		16～80
XLFV-2（帶電磁閥）氣控單作用
（N.C.）		O形圈高速動(dòng)作
高動(dòng)作次數(shù)		16～80
XLG-2氣控雙作用O形圈高速動(dòng)作
高動(dòng)作次數(shù)		16～80
鋁制高真空L型閥XLA/C/F/G
系列 下載
XLA-2
XLAV-2（帶電磁閥）
XLC-2
XLF-2
XLFV-2（帶電磁閥）
XLG-2
鋁材質(zhì)高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152


?波紋管耐久性提升（法蘭尺寸100、160）
?壽命：200萬次
?可實(shí)現(xiàn)裝置的省空間化
　無排氣方向限制(閥體側(cè)←→波紋管側(cè) 兩方向均可)
　安裝姿勢(shì)的自由度提升
?輕量、緊湊
下載
其他資料
系列操作方式閥形式軸密封方式用途法蘭尺寸
XLA-100?160-X152氣控單作用
（N.C.）		波紋管密封除塵凈化100、160
鋁材質(zhì)高真空L型閥XLA/C-100?160（-1）-X152
系列 下載
XLA-100?160-X152
鋁制高真空L型閥 XL□


?耐氟。
?放出氣體量少。
?重金屬污染少。

※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進(jìn)行了產(chǎn)品變更。
　 請(qǐng)選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
下載
其他資料
系列操作方式閥形式軸密封
方式		用途法蘭
尺寸
XLA氣控單作用
（N.C.）		波紋管密封防塵
凈化		16～160
XLAV（帶電磁閥）氣控單作用
（N.C.）		波紋管密封除塵
凈化		16～160
XLC氣控雙作用波紋管密封除塵
凈化		16～160
XLCV（帶電磁閥）氣控雙作用波紋管密封除塵
凈化		16～80
XLF氣控單作用
（N.C.）		O形圈密封高速動(dòng)作
高動(dòng)作次數(shù)		16～160
XLFV（帶電磁閥）氣控單作用
（N.C.）		O形圈高速動(dòng)作
高動(dòng)作次數(shù)		16～160
XLG氣控雙作用O形圈高速動(dòng)作
高動(dòng)作次數(shù)		16～160
XLGV（帶電磁閥）氣控雙作用O形圈高速動(dòng)作
高動(dòng)作次數(shù)		16～80
XLD氣控單作用
（N.C.）		波紋管密封
O形圈密封		防止揚(yáng)塵
防止泵過載		25～160
XLDV（帶電磁閥）氣控單作用
（N.C.）		波紋管密封
O形圈密封		防止揚(yáng)塵
防止泵過載		25～160
XLH手動(dòng)手動(dòng)波紋管密封除塵
凈化		16～50
XLS電磁式單作用
（N.C.）		(波紋管平衡)無需空氣
可搬運(yùn)裝置用		16，25
鋁制高真空L型閥XL□
系列 下載
XLA
XLAV（帶電磁閥）
XLC
XLCV（帶電磁閥）
XLF
XLFV（帶電磁閥）
XLG
XLGV（帶電磁閥）
XLD
XLDV（帶電磁閥）
XLH
XLS
鋁制快速拆裝型 高真空L型閥 XLAQ?XLDQ


?快速拆裝（無需工具）。
下載
其他資料
系列操作方式軸密封
方式		閥形式材質(zhì)法蘭
尺寸
XLAQ氣控波紋管密封單作用
（N.C.）		主體：鋁
波紋管：SUS316L		16～50
XLDQ氣控波紋管密封
O形圈密封		單作用
（N.C.）		主體：鋁
波紋管：SUS316L		40，50
鋁制快速拆裝型 高真空L型閥XLAQ?XLDQ
系列 下載
XLAQ
XLDQ
不銹鋼制高真空L型／直線型閥 XM/XY


?無氣體積留的精密鑄造結(jié)構(gòu)。
?鋁制高真空L型閥，安裝上具有與XL系列的互換性（XM系列）。

注）直線型無尺寸16。
下載
其他資料
系列操作方式軸密封
方式		閥形式材質(zhì)法蘭
尺寸
XMA/XYA氣控波紋管密封單作用
（N.C.）		主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYC氣控·波紋管密封雙作用主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYD氣控波紋管密封
O形圈密封		單作用
（N.C.）		主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L		25～80
XMH/XYH手動(dòng)波紋管密封手動(dòng)主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～50 注）
不銹鋼制高真空L型／直線型閥XM/XY
系列 下載
XMA/XYA
XMC/XYC
XMD/XYD
XMH/XYH
常閉型高真空電磁閥 XSA


?使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
?有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。
?消耗功率：最多削減25％。
?質(zhì)量：最多減小18％　0.5kg→0.41kg。
下載
其他資料
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常閉空氣
惰性氣體		面密封接頭
卡套式接頭		1/4, 3/8
XSA常閉空氣
惰性氣體		Rc, NPT內(nèi)螺紋1/8, 1/4, 3/8
常閉型高真空電磁閥XSA
系列 下載
XSA
XSA
平穩(wěn)排氣閥 XVD


?閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。
?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
?初始供氣、主給気可同時(shí)進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。
下載
其他資料
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD常閉
（加壓開?彈簧密封）		氮?dú)?、空氣?br/>惰性氣體等VCR®
Swagelok®		1/4B
平穩(wěn)排氣閥XVD
系列 下載
XVD

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