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中圖儀器非接觸3d光學(xué)輪廓儀SuperviewW1

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更新時(shí)間：2023-02-12 09:11:11瀏覽次數(shù)：375次

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  光學(xué)3D表面輪廓儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

中圖儀器SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀采用白光干涉技術(shù)結(jié)合可選的高精度相移干涉技術(shù)以及針對(duì)粗糙樣品開(kāi)發(fā)出的綠光干涉技術(shù)，并以實(shí)惠的價(jià)格實(shí)現(xiàn)樣品表面微納米三維形貌的一鍵測(cè)量。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔、用途多樣。它能夠測(cè)量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺(tái)階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測(cè)量應(yīng)用。分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

應(yīng)用范例

產(chǎn)品參數(shù)

性能特征
1、高精度、高重復(fù)性
3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

2、一體化操作的測(cè)量分析軟件
測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能，自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程。

3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺(tái)平移、找條紋等測(cè)量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施
（1）軟件防撞保護(hù)ZSTOP
即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng)，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。
（2）Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開(kāi)關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓儀輪廓儀傳感器