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中圖儀器（chotest）超高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)SJ6000

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更新時間：2023-03-30 17:59:12瀏覽次數(shù)：447次

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產(chǎn)品簡介

中圖儀器SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率

詳細(xì)介紹

中圖儀器SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。

結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

性能特點

1. 自動采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差，精度高；
2. 測量過程全自動化，效率高；
3. 可測量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測量任意角度間隔，通用性強；
4. 可自動生成誤差曲線和補償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動計算定位精度結(jié)果，無需人工計算。

SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應(yīng)用于精密機械設(shè)備、精密檢測儀器、三坐標(biāo)、機器人、3D打印設(shè)備、機床、自動化設(shè)備、線性位移平臺等領(lǐng)域的線性測量。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀