中圖儀器的SJ6000型號(hào)
激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種基于外差技術(shù)的高精度測(cè)量?jī)x器，它可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等，也可以棄車間，用于特殊場(chǎng)合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。
產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測(cè)量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力：1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
產(chǎn)品特點(diǎn) SJ6000
激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)垂直度、平行度、角度、直線度、線性測(cè)長(zhǎng)、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì) 1）精度高
SJ6000
激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。
2）功能廣
- 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
- 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
- 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
- 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
- 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3）軟件強(qiáng)
- 友好的人機(jī)界面；
- 豐富的應(yīng)用功能模塊；
- 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/li>
- 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業(yè)專屬模板定制。
4）標(biāo)準(zhǔn)多
內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
應(yīng)用案例 測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度
測(cè)量機(jī)床直線度
數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)
在這些測(cè)量中，除了應(yīng)用激光干涉?zhèn)鞲衅鳒y(cè)定工作臺(tái)（或測(cè)桿）位移外，還需有相應(yīng)的瞄準(zhǔn)裝置。常用的有光電顯微鏡瞄準(zhǔn)（應(yīng)用于線紋尺及某些工件尺寸和坐標(biāo)位置測(cè)量），白光干涉瞄準(zhǔn)（用于量塊檢定）及接觸瞄準(zhǔn)（用于一般精密量塊及工件尺寸和坐標(biāo)位置測(cè)量）。激光干涉?zhèn)鞲衅鬟€可應(yīng)用于精密定位，如精密機(jī)構(gòu)加工中的控制和校正、感應(yīng)同步器的刻劃、集成電路制作等的定位。
此前，國產(chǎn)與國外的產(chǎn)品有著一定的差距，SJ6000
激光干涉儀型號(hào)的推出打破了這一局面，降低了企業(yè)的檢測(cè)成本。在測(cè)量精度、測(cè)量速度、測(cè)量類型等方面，SJ6000
激光干涉儀為用戶提供了選擇。
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