中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000
光動(dòng)激光干涉儀因?yàn)椴捎酶咚俑缮嫘盘?hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),所以可以實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)分辨率的精密測(cè)量,是集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體的國(guó)產(chǎn)激光干涉儀。
SJ6000光動(dòng)激光干涉儀線性測(cè)量 原理:邁克爾遜干涉原理 1、從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束(圓偏振光)通過(guò)分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);
2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;
3、角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離,將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。
線性測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖
產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測(cè)量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測(cè)量距離:(0-80)m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測(cè)量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力:1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz
預(yù)熱時(shí)間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
線性測(cè)量配置 配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。其中,線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。
應(yīng)用 SJ6000
光動(dòng)激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、精密機(jī)械設(shè)備、三坐標(biāo)、機(jī)器人、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、3D打印設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。