Agilent VHS-6 擴(kuò)散泵具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多種尺寸。VHS 系列擁有的凸腔設(shè)計(jì)能使氣體捕集量翻倍，并且可以保持更低的壓力。所有 VHS 系列泵都配有油位觀察窗/注油和放油組件，便于連續(xù)監(jiān)測(cè)和對(duì)泵油的維護(hù)。鰭片式加熱盤設(shè)計(jì)增大了表面積，并延長(zhǎng)了泵油的使用壽命。過熱保護(hù)開關(guān)和速冷盤管也是標(biāo)準(zhǔn)配置。4 英寸、6 英寸和 10 英寸泵可隨泵訂購 ASA 或 ISO 法蘭、標(biāo)準(zhǔn)或外延冷卻帽，還有多種電壓型號(hào)可選。

特性：

1.可達(dá)到在同等高度下泵的極限抽速。
2.油位觀察窗可隨時(shí)快速指示泵流體的狀況。
3.泵油注排組件
4.分餾噴嘴可純化泵油。
5.前級(jí)耐壓高。
6.過熱保護(hù)。
7.不銹鋼泵體和噴嘴
8.翅片加熱盤設(shè)計(jì)增大表面積，并延長(zhǎng)泵油壽命。

技術(shù)指標(biāo)：

抽氣速率，工作范圍抽氣速率，AVS4.1 (1963)	1550 L/s 空氣，1930 L/s 氦氣和氫氣 2400 L/s 空氣
抽氣量	在工作范圍內(nèi)為 2.4 T L/s (3.2 mbar L/s)，0.01 Torr 時(shí)為 3.5 T L/s (4.5 mbar L/s)
操作范圍	1.5 x 10^-3 至低于 5 x 10^-9 torr（2 x 10^-3至低于 6.5 x 10^-9 mbar）
前級(jí)耐壓	無負(fù)載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.72 mbar)
推薦前級(jí)泵	≥ 17 cfm (29 m³/h)
返油率，標(biāo)準(zhǔn)冷卻帽	低于 5 x 10^-4 mg/cm²/min
預(yù)熱時(shí)間	10 min
冷卻時(shí)間	10 分鐘（使用速冷盤管）
注油量	500 cc — 準(zhǔn)確的泵油包裝可用
電氣要求	單相，50/60 Hz，120/208/240 VAC
泵功率	2200 W
冷卻水要求	在 60-80 ℉ (15-26 ℃) 時(shí)，抽速為 0.25 gpm (50 L/h)
連接水冷	1/8 英寸 FPT 三通