真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品原理:
等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
1、控制單元:
控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
而控制單元又分為兩個(gè)大的部分:1)電源部分:主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的,而2.45GHz又稱為微波等離子。2)系統(tǒng)控制單元:分三種,按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。
2、真空腔體:
真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的:1)不銹鋼真空腔體,2)石英腔體。
3、真空泵:
真空泵種類較多,其選擇會根據(jù)用戶的真空度要求、體積要求來配置。
真空等離子清洗機(jī)技術(shù)規(guī)格:
主要部件 | 指標(biāo)名稱 | 參數(shù)指標(biāo) |
清洗倉體 | 清洗倉材質(zhì) | 高純石英 |
清洗倉尺寸 | 直徑100mm;長度270mm |
射 頻 電 源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
電源優(yōu)勢 | ●可長時(shí)間正常運(yùn)行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少 ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能 |
射頻功率 | 0~100W連續(xù)可調(diào)/0~150W連續(xù)可調(diào) |
信號頻率 | 13.56MHz ±0.005% |
反射功率 | ≤100W |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
射頻接頭 | N型頭 |
整機(jī)效率 | ≥75% |
諧波分量 | ≤-50 dBc |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
氣 體 測 量 | 測量部件 | 浮子流量計(jì) |
氣體通道 | 兩通道 |
A通道量程 | 10~100ml |
B通道量程 | 16~160ml |
真 空 獲 取 | 真空測量 | 數(shù)字真空計(jì)(電阻規(guī)) |
真空抽取 | 雙極旋片泵 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 50Hz時(shí)為:1440;60Hz時(shí)為:1720。 |
抽氣速率 | 50Hz時(shí)為:240L/Min;60Hz時(shí)為:288L/Min。 |
真空量程 | 0.1Pa~10000Pa |
極限真空 | 0.5Pa |
電機(jī)噪音 | ≤56dB |
管道接口 | 進(jìn)氣口:KF16;排氣口KF16. |
連接管道 | KF16真空波紋管 |
真空閥門 | KF16球閥 |
電機(jī)功率 | 400W |
其 它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
整機(jī)功率 | 550W/600W |
使用溫度 | -10℃ -- 40℃ |
工作真空 | ≤40Pa |
整機(jī)尺寸 | 540mmX500mmX440mm |
整機(jī)重量 | 58kg(含包裝) |
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