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Table stable 防震臺(tái)-主動(dòng)隔震臺(tái)-主動(dòng)減震臺(tái)-隔振臺(tái) AVI-600XL

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Tablestable|防震臺(tái)-主動(dòng)隔震臺(tái)-主動(dòng)減震臺(tái)-隔振臺(tái)AVI-600XL是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，以提高精密設(shè)備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz，被動(dòng)隔振頻率200Hz，其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中，主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除；允許自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸和配置，......

詳細(xì)介紹

Table stable |防震臺(tái)-主動(dòng)隔震臺(tái)-主動(dòng)減震臺(tái)-隔振臺(tái) AVI-600XL為各類精密儀器主動(dòng)減振臺(tái)-防振臺(tái)-隔振臺(tái)，光學(xué)顯微鏡主動(dòng)防振臺(tái)-干涉儀主動(dòng)防震臺(tái)-電子天平防振臺(tái)-輪廓儀防震臺(tái)-半導(dǎo)體設(shè)備主動(dòng)防震臺(tái)-激光設(shè)備防振臺(tái)-微納加工精密儀器防振系統(tǒng)。優(yōu)點(diǎn)：六軸方向自由度隔防振臺(tái)，超低頻負(fù)剛度防震臺(tái)，高負(fù)載主動(dòng)防震臺(tái)！

Table stable-主動(dòng)隔震臺(tái)-防震臺(tái)-減震臺(tái)AVI-600XL

產(chǎn)品描述：

AVI系列主動(dòng)隔震臺(tái)-防震臺(tái)-減震臺(tái)是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究?jī)x器提供業(yè)界的主動(dòng)隔振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列平臺(tái)通過消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì)，無需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設(shè)備，從而簡(jiǎn)化了安裝過程。

適用于各類大型電子顯微鏡AEMSEMATMTEM,防震臺(tái)，輪廓儀防震臺(tái)，電子太平防震臺(tái)，超快激光系統(tǒng)防震臺(tái)，時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái)，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)，激光設(shè)備主動(dòng)防震！

工作原理：

主動(dòng)隔震臺(tái)使用電氣控制，通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

AVI系列主動(dòng)隔震臺(tái)采用*的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動(dòng)，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振?？蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動(dòng)，提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)

5-20ms響應(yīng)時(shí)間

低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡(jiǎn)單

系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除

緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)

穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年

無低頻共振、無空氣要求

應(yīng)用范圍：

超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
光刻工具
高精度計(jì)量工具
光譜儀器

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)：AVI-600XL/LP
系統(tǒng)配置：獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置
主動(dòng)隔振范圍：大致為1.0 Hz – 200 Hz
被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上
顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。
LEDs 指示輸出階段的過載情況。
單元尺寸(每個(gè)):318 x 856 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
隔振單元重量: 34kg
負(fù)載能力:1200 kg (同等/低重心)
輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
功耗：通常27W
校正力：水平12N，垂直24N
系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
靜態(tài)柔度：垂直約1µm/N，水平約2 µm/N
溫度范圍：5℃ – 40℃
相對(duì)濕度：10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)

升級(jí)選項(xiàng)：

Table stable|主動(dòng)隔震臺(tái)-防震臺(tái)-減震臺(tái)AVI-600XL可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能對(duì)比圖：SEM 的研究人員在兩種條件下進(jìn)行成像：不含隔zhen系統(tǒng)和包含AVI系列隔震臺(tái)。當(dāng)使用AVI系列減震臺(tái)搭載SEM時(shí)，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測(cè)量清晰度得到大幅提升。

隔振臺(tái)-Table stable-低頻隔振臺(tái)AVI-400S的隔振效果圖

標(biāo)簽:AVI系列Table stable主動(dòng)減振臺(tái)主動(dòng)減震臺(tái)主動(dòng)防振臺(tái)主動(dòng)防震臺(tái)主動(dòng)隔震臺(tái)傳感器低頻穩(wěn)定器減振臺(tái)減震臺(tái)加速度傳感器示波器防振臺(tái)防震臺(tái)隔振隔振臺(tái)隔振系統(tǒng)隔震臺(tái)

關(guān)鍵詞：減震臺(tái) 光學(xué)顯微鏡電子天平輪廓儀電子顯微鏡