透反射硅片顯微鏡BMT-300一、用途：透反射式硅片檢測(cè)顯微鏡BMT-300主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感強(qiáng)，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的金字塔的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍顯微鏡

詳細(xì)介紹

透反射硅片顯微鏡BMT-300
一、用途：
透反射式硅片檢測(cè)顯微鏡BMT-300主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感強(qiáng)，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍顯微鏡。硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制zui普通的儀器.

二、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場(chǎng)（mm）
大視野目鏡	10X	Φ16

透反射硅片顯微鏡BMT-300 2.物鏡

類別	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑（NA）	工作距離（mm）
平場(chǎng)消色差物鏡（無蓋玻片）	5X	0.12	18.3
	10X	0.25	8.9
	40X	0.60	3.7
	60X	0.85	0.26

3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 400X 600X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-4000X
4.載物臺(tái)：尺寸 185mm*140mm 移動(dòng)范圍 75mm*50mm
5.調(diào)焦系統(tǒng)：帶限位和調(diào)節(jié)松緊裝置的同軸粗微動(dòng) 微動(dòng)格值 0.002mm
6.濾色片組：轉(zhuǎn)盤式，黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
8.照明系統(tǒng)：6V/20W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)；220V（50Hz）

9.防霉:*的防霉系統(tǒng)

10.成像系統(tǒng): 日本進(jìn)口專業(yè)攝像頭或500萬高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭

三、系統(tǒng)組成
電腦型硅片檢測(cè)顯微鏡（BMT-300E）: 1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器（CCD） 4、A/D（圖像采集） 5、驅(qū)動(dòng)軟件 6、數(shù)據(jù)線 7、計(jì)算機(jī)（選配）

四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測(cè)顯微鏡（BMT-300E）：50--4000倍（17寸顯示器為例）

五、選購件
1.硅片測(cè)量軟件 2.目鏡： 20X 10X（帶刻度） 3.物鏡：20X 80X

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