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微波能化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)WBQXCJ-4

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-09-08 14:43:21瀏覽次數(shù):169次

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所在地區(qū):

聯(lián)系人:劉經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

操作便捷:氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu),使取放物料過程簡(jiǎn)化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,

詳細(xì)介紹

 微波材料學(xué)工作站--微波能化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

主要用途:
主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體, 大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料,石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、
鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域

產(chǎn)品特點(diǎn):
★操作便捷:氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu),使取放物料過程簡(jiǎn)化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,
   方便操作,取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程,減少了安裝造成的損壞
多功能:3種加熱方式可選可變:純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱;適應(yīng)包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理
開發(fā)的微波場(chǎng)專用傳感器,精準(zhǔn)控溫
安全:采用防止泄漏的四級(jí)聯(lián)鎖的保護(hù)屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設(shè)計(jì),多重防泄漏保護(hù)
*標(biāo)配裝有專業(yè)微波抑制器
*內(nèi)置微波泄漏傳感器
節(jié)能:使用壽命長(zhǎng):磁控管微波加熱,避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題,
    也避免了因加熱元件
損壞而造成的時(shí)間、實(shí)驗(yàn)進(jìn)度、維修費(fèi)用等各種損失
★采用無(wú)級(jí)可調(diào)、高穩(wěn)定度長(zhǎng)壽命、連續(xù)波微波源,確保設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行
嵌入式微機(jī)一體化溫度控制系統(tǒng);實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性控溫
★無(wú)須烘爐過程:爐腔整體自身發(fā)熱,加熱均勻
★微波能量即開即有,無(wú)熱慣性,易于控制溫度
★爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇
★保護(hù)管采用耐高溫合金管,氣管采用卡套或VCR接口,安裝簡(jiǎn)便
★配有萬(wàn)向輪調(diào)節(jié)底腳,方便移動(dòng)和固定

選配功能:
1.多溫區(qū)獨(dú)立加熱模塊:型號(hào)后面加D   
◆多個(gè)不同溫區(qū)獨(dú)立加熱、獨(dú)立控制,(標(biāo)配 2 個(gè)溫區(qū))
◆兩個(gè)以上溫區(qū)可額外選配
◆通常用于高溫下氣相或揮發(fā)分參與的材料合成
◆加熱區(qū)、恒溫區(qū)長(zhǎng)度均可調(diào)。
2.可根據(jù)用戶需求定制立式或其他尺寸

技術(shù)參數(shù):
型號(hào)/modelWBQXCJ-4
可加熱材料非易燃易爆的任何材料
微波頻率2.45GHZ±50MHz
加熱方式純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
功率/ KW(連續(xù)、可調(diào))4
樣品腔尺寸/mm標(biāo)配Φ45mm;長(zhǎng)度 1200mm。可根據(jù)用戶需求定制
樣品腔(材質(zhì))石英管剛玉管
控溫范圍/℃室溫-1200℃室溫-1500℃
溫度測(cè)試元件微波場(chǎng)專用傳感器
溫度分辨率/℃0.1
控溫精度/℃
1200℃以下±1;1200℃以上±2℃
溫度偏差/℃
溫度穩(wěn)定波動(dòng)度/℃
冷卻方式標(biāo)配風(fēng)冷(可選配水冷)
恒溫區(qū)長(zhǎng)度/mm標(biāo)配100    可根據(jù)用戶需求定制
升溫速率(標(biāo)配)0~200℃/min
任意設(shè)定,可編程、分段加熱
溫度控制方式10段可設(shè)工藝參數(shù),7寸觸摸屏操作,帶數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能;提供手動(dòng)、自動(dòng)、恒溫控制模式,曲線實(shí)時(shí)顯示
控制氣體控制氣體:H2、CH4、Ar、N 2 、其它氣體可選
流量控制標(biāo)配 2 套質(zhì)量流量控制器:七星華創(chuàng)(真空保護(hù)閥門后置,匹配真空模式);精度:0.8%
耐壓1MPa;控制響應(yīng)時(shí)間:10ms
真空系統(tǒng)真空泵RVP2008;壓力范圍:10 -3 Torr~760 Torr
抽速:8.5 m 3/h
真空計(jì)數(shù)顯真空計(jì):1atm-10 -1 Pa
標(biāo)配質(zhì)量流量自動(dòng)控制系統(tǒng)配備控制計(jì)算機(jī)及控制軟件,可以內(nèi)置實(shí)時(shí)顯示和保存生長(zhǎng)參數(shù)
氣路其他配置氣柜、氣路及閥門等
端口不銹鋼 KF50 法蘭接口
電源電壓(V)220
微波泄漏量/mW/㎝2≤0.4
外型尺寸(長(zhǎng)´寬´高)/mm1500×750×1550
  








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