SEM2000是一款基礎(chǔ)款的多功能分析型鎢燈絲掃描電鏡。20 kV分辨率可以做到3.9 nm,支持升級30 kV電壓,可觀察亞微級尺度樣品的微觀結(jié)構(gòu)信息。擁有比臺式電鏡更大的移動(dòng)范圍,適用于快速篩選待測樣品,更多的擴(kuò)展接口,可搭載BSED、EDS等附件,使應(yīng)用領(lǐng)域更廣。
分辨率 | 加速電壓 | 放大倍數(shù) |
3.9 nm @ 20 kV | 0.5~20 kV (30 kV可選) | 1~300,000x |
產(chǎn)品特點(diǎn)
?簡潔的操作界面
? 純中文的操作界面
功能設(shè)計(jì)簡單易操作。符合國人使用習(xí)慣,即使是新手用戶,簡單了解后也能快速上手。
? 完善的自動(dòng)化功能
自動(dòng)亮度對比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散,均可一鍵調(diào)節(jié),提高工作效率。
? 豐富的測量工具
長度、面積、圓度、角度等測量功能強(qiáng)大的照片管理和預(yù)覽、編輯功能。
?特色功能
? 光學(xué)導(dǎo)航
想看哪里點(diǎn)哪里,導(dǎo)航更輕松
標(biāo)配光學(xué)導(dǎo)航攝像頭,可拍攝高清樣品臺照片,快速定位樣品。
? 防撞設(shè)計(jì)
對新手更友好的防碰撞設(shè)計(jì),限度保護(hù)敏感單元。
? 一鍵成像
*軟件一鍵成像,新手也能輕松駕馭。
? 分析距離
分析距離和成像距離二合一,輕松體驗(yàn)優(yōu)質(zhì)性能。
?多種信息同時(shí)成像
SEM2000軟件支持一鍵切換SE和BSE的混合成像??赏瑫r(shí)觀察到樣品的形貌信息和成分信息。
?分辨率指標(biāo)
?豐富的擴(kuò)展性
? 高靈敏度背散射探測器
- 多通道成像
探測器設(shè)計(jì)精巧,靈敏度高,采用4分割設(shè)計(jì),無需傾斜樣品,可獲得不同方向的陰影像以及成分分布圖像。
- 二次電子成像和背散射電子成像對比
背散射電子成像模式下,荷電效應(yīng)明顯減弱,并且可以獲得樣品表面更多的成分信息。
? 能譜
金屬夾雜物能譜面掃分析結(jié)果。
? 電子背散射衍射
鎢燈絲電鏡束流大,滿足高分辨EBSD的測試需求,能夠?qū)饘佟⑻沾?、礦物等多晶材料進(jìn)行晶體取向標(biāo)定以及晶粒度大小等分析。 該圖為Ni金屬標(biāo)樣的EBSD反極圖,能夠識別晶粒大小和取向,判斷晶界和孿晶,對材料組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行精確判斷。
應(yīng)用案例
產(chǎn)品參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍類型 | 預(yù)對中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍 |
分辨率 | 3.9 nm @ 20 kV(SE) |
4.5 nm @ 20 kV(BSE) |
放大倍率 | 1 x~300,000 x |
加速電壓 | 0.5 kV~20 kV |
成像系統(tǒng) | 探測器 | 二次電子探測器(ETD) |
*背散射電子探測器、*能譜儀EDS等 |
圖像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG |
真空系統(tǒng) | 高真空 | 優(yōu)于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自動(dòng)控制 |
泵 | 機(jī)械泵×1,分子泵×1 |
樣品室 | 攝像頭 | 光學(xué)導(dǎo)航 |
樣品臺配置 | 兩軸自動(dòng) |
行程 | X: 100 mm |
Y: 100 mm |
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
特色功能 | 智能輔助消像散、大圖拼接(選配軟件) |
安裝要求 | 房間 | 長 ≥ 3000 mm,寬 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm |
溫度 | 20 ℃~25 ℃ |
濕度 | ≤ 50 % |
電氣參數(shù) | 電源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |