六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)使其比串聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性，動(dòng)態(tài)范圍更大，無移動(dòng)電纜：更穩(wěn)定、摩擦更小真空兼容型可達(dá)10-6百帕.無刷直流電機(jī)(BLDC) 無刷直流電機(jī)尤其適合高旋轉(zhuǎn)速度

詳細(xì)介紹

六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)使其比串聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性，動(dòng)態(tài)范圍更大，無移動(dòng)電纜：更穩(wěn)定、摩擦更小真空兼容型可達(dá)10^-6百帕.

無刷直流電機(jī)尤其適合高旋轉(zhuǎn)速度。能夠精確對(duì)其進(jìn)行控制并確保高精度。由于無滑動(dòng)接觸，可無磨損地平穩(wěn)運(yùn)行，因此能夠?qū)崿F(xiàn)較長的使用壽命。

科研和工業(yè)，標(biāo)準(zhǔn)和真空環(huán)境。用于微制造、醫(yī)藥技術(shù)、刀具控制。

技術(shù)參數(shù)：

	H-811.I2	單位	公差
主動(dòng)軸	X，Y，Z，θ_X，θ_Y，θ_Z
運(yùn)動(dòng)和定位
X、Y向上的行程*	±17, ±16	毫米
Z向上的行程*	±6.5	毫米
θ_X、θ_Y向上的行程*	±10, ±10	°
θ_Z向上的行程*	±21	°
促動(dòng)器設(shè)計(jì)分辨率	5	納米
X、Y向上的最小位移	0.2	微米	典型值
Z向上的最小位移	0.08	微米	典型值
θ_X、θ_Y、θ_Z向上的最小位移	2.5	微弧度	典型值
X、Y向上的空回	0.2	微米	典型值
Z向上的空回	0.06	微米	典型值
θ_X、θ_Y向上的空回	4	微弧度	典型值
θ_Z向上的空回	4	微弧度	典型值
X、Y向上的重復(fù)精度	±0.15	微米	典型值
Z向上的重復(fù)精度	±0.06	微米	典型值
θ_X、θ_Y向上的重復(fù)精度	±2	微弧度	典型值
θ_Z向上的重復(fù)精度	±3	微弧度	典型值
X、Y和Z向上的速度	20	毫米/秒
θ_X、θ_Y、θ_Z向上的速度	500	毫弧度/秒
Typ. X、Y和Z向上的典型速度	10	毫米/秒
Typ. θ_X、θ_Y、θ_Z向上的速度	240	毫弧度/秒
機(jī)械特性
X、Y向上的剛性	0.7	牛/微米
Z向上的剛性	8	牛/微米
負(fù)載能力（底板為水平方向/任意方向）	5 / 2.5	千克
保持力，斷電（底板為水平方向/任意方向）	15 / 2.5	牛
電機(jī)類型	BLDC電機(jī)
其他
工作溫度范圍	0 到 50	°C
材料	不銹鋼，鋁
質(zhì)量	2.2	千克	±5 %
電纜長度	0.5 + 3	米	±10 毫米