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電子探針系列

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“TheGrandEPMA"誕生搭載場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)將島津EPMA分析性能發(fā)揮到從SEM觀察條件到1μA量級(jí)，在各種束流條件下都擁有空間分辨率的場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

“The Grａnd EPMA" 誕生

搭載場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)
將島津EPMA分析性能發(fā)揮到

從SEM觀察條件到1μA量級(jí)，在各種束流條件下都擁有空間分辨率的場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)。結(jié)合島津傳統(tǒng)的高性能X射線譜儀，將分析性能發(fā)揮至。

當(dāng)之無(wú)愧的“The Grａnd EPMA" ，水準(zhǔn)的EPMA誕生！

的空間分辨率

使用分析條件束流，引以為傲的二次電子圖像分辨率。（加速電壓10kV時(shí)，20nm@10nA//50nm@100nA/150nm@1μA）。與原來(lái)的電子槍?zhuān)–eB6、鎢燈絲）的結(jié)果相比，一目了然。

由于可用更大的束流得到與原來(lái)電子槍相同分辨率的圖像，所以可進(jìn)行超高靈敏度的X射線分析。更加值得注意的是，束流為1μA時(shí)的SEM圖像。能夠得到1μA以上束流，而且可以壓縮到如此細(xì)的只有EPMA-8050G。

各種電子槍產(chǎn)生電子束的特性比較（加速電壓10kV）

大束流超高靈敏度分析

場(chǎng)發(fā)射類(lèi)型的SEM、EPMA可實(shí)現(xiàn)其他儀器所不能達(dá)到的大束流（加速電壓30kV時(shí)3μA）。在超微量元素的檢測(cè)靈敏度上實(shí)現(xiàn)了質(zhì)的飛躍，將元素面分析時(shí)超微量元素成分分布的可視化成為現(xiàn)實(shí)。而且，所有束流范圍內(nèi)不需要更換物鏡光闌，不用擔(dān)心合軸，實(shí)現(xiàn)了高度自動(dòng)化分析。

面的3個(gè)圖像為不同束流下，對(duì)不銹鋼中約1%左右Si進(jìn)行面分析的結(jié)果※。束流越大，偏差越小，越能更加清楚的確認(rèn)包含Si的范圍。

※ 分析條件：加速電壓10kV，積分時(shí)間50msec。分析花費(fèi)時(shí)間約1小時(shí)。

最多可同時(shí)搭載5通道高性能4英寸X射線譜儀

X射線取出角決定分析性能，52.5°更勝


對(duì)X射線的吸收越少，靈敏度越高。	高X射線取出角，可降低吸收帶來(lái)的影響，可以對(duì)深孔底部、孔中異物進(jìn)行分析。

對(duì)深孔中異物的分析實(shí)例。左下為鐵（Fe）的分布，右下為鈦（Ti）的分布。通過(guò)EPMA-8050G的高取出角，即使是表面明顯凹凸不同的樣品，也可進(jìn)行高精度分析。

分光晶體采用全聚焦型晶體。

秉承島津研發(fā)經(jīng)驗(yàn)的晶體加工制備工藝，保證提供高靈敏度·高分辨率兼?zhèn)涞姆止饩w。Johanson()型分光晶體是全聚焦晶體，無(wú)像差。

最多可同時(shí)搭載5通道兼顧高靈敏度、高分辨率的4英寸譜儀。

X射線譜儀羅蘭圓直徑是影響EPMA分析性能至關(guān)重要的因素之一。羅蘭圓半徑每增加1英寸，檢出靈敏度下降30%以上。島津EPMA可最多

全部分析操作簡(jiǎn)單易懂

全部操作僅需一個(gè)鼠標(biāo)就可實(shí)現(xiàn)的可操作性、追求「易懂」的人性化用戶(hù)界面、搭載導(dǎo)航模式等多個(gè)新功能，將「簡(jiǎn)單易懂操作」成為現(xiàn)實(shí)。無(wú)論是初學(xué)者還是專(zhuān)家級(jí)用戶(hù)都可進(jìn)行得心應(yīng)手的操作分析。

● 從樣品導(dǎo)入到生成分析報(bào)告，操作方便?！?/span>
● 即便是次使用也可輕松進(jìn)行樣品定位SEM觀察。
● 的可操控性，大大提高分析準(zhǔn)備工作的效率。
● 視覺(jué)上追求「易懂」的人性化用戶(hù)界面。
● 搭載導(dǎo)航模式，自動(dòng)指引直至生成分析報(bào)告。