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愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600L 干式泵

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更新時(shí)間：2023-05-25 07:42:56瀏覽次數(shù)：441次

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愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600L干式泵概述iGX干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)

詳細(xì)介紹

愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600L 干式泵

概述

iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。效率提高的同時(shí)降低了運(yùn)行成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。
  
iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
  
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載的各種工藝。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對(duì) iGX 干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項(xiàng)。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖
  • 輸送
  • 計(jì)量
a - iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz

iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz

A
a - iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz

iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz

A

功能和優(yōu)勢(shì)

  • 低運(yùn)行成本
    • 與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本Z多可降低 50%
    • 無需預(yù)防性維護(hù)
  • 靈活的安裝選項(xiàng)
    • 小巧輕便，便于安裝
    • 工具上、近程或遠(yuǎn)程
  • 可以改進(jìn)工具吞吐量
    • 可用的Z快的負(fù)載鎖定泵之一
  • 全程一致的泵送性能
    • 在 50 和 60 Hz 下抽速相同
  • 降低了環(huán)境噪音
    • 僅 55 dB(A)
  • 峰值速度范圍寬
    • 100、300、600 和 800 m3h-1

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度620 m3h-1

365 cfm

10333 l min-1
極限壓力7.00E-04 mbar

5.25E-04 Torr

0.07 Pa
700 Torr 排氣壓力下的極限
極限1.6 kW
AUC（有源設(shè)備控制器）0.05 kW
水入口*2 slm
氮0 slm
占地面積（不包括排氣裝置）0.20 m2
重量220 kg
進(jìn)氣口連接ISO100
出口連接NW25
極限噪音< 55 dB(A)

  
* 需要恒流閥附件。


關(guān)鍵詞：干式真空泵 真空泵
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