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寧波ULVAC愛發(fā)科NRL90A干式真空泵維修保養(yǎng)

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更新時(shí)間：2023-08-04 08:00:52瀏覽次數(shù)：379次

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寧波愛發(fā)科NRL90A干式真空泵維修保養(yǎng)特長(zhǎng)NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化

詳細(xì)介紹

 寧波愛發(fā)科NRL90A干式真空泵維修保養(yǎng)


    特長(zhǎng)

  1. NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。


  2. 低噪音、低振動(dòng)


  3. 優(yōu)良的耐腐蝕性


  4. 標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。


  5. 選購(gòu)件


  6. 可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。



    7. 用途

  7. ?  活性氣體（CVD、刻蝕等）。


  8. ?  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。


  9. ?  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）


  10. ?  作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）。


  11. ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。

技術(shù)參數(shù)

* 1  極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w）在5.0 SLM時(shí)的值。

* 2  無(wú)結(jié)露。

* 3  用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。

* 4  氮?dú)猓芊鈿怏w）流量5.0 SLM是固定值。

外形尺寸圖


抽氣速率曲線

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