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高精度六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod

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更新時間：2023-11-01 12:19:45瀏覽次數(shù)：211次

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產(chǎn)品簡介

六軸位移臺/六足位移臺HybridHexapod-高精度昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺HybridHexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能

詳細介紹

六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod-高精度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺Hybrid Hexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能。六軸位移臺Hybrid Hexapod結(jié)合了精密XY單片工作臺、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)的Theta- Z軸，而不是6個獨立的腿(和12個連接接頭)，提供的整體性能。這使得傳統(tǒng)的六足位移臺運動學過時了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍上都有了數(shù)量級的改進，幾乎可以無限的XY行程，可編程的工具中心點位置。

六軸位移臺Hybrid Hexapod具有小于100nm的三維6軸點精度重復(fù)性，使其成為、、光子學、半導(dǎo)體、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。

傳統(tǒng)的六足位移臺無法達到亞微米的精度，因為它們需要精確協(xié)調(diào)所有六個軸的運動來完成一個運動輪廓，即使這個要求只是一個簡單的單軸運動。此外，盡管人們普遍認為六足位移臺比串行堆疊的多軸系統(tǒng)表現(xiàn)出良好的剛度，但這實際上只是在垂直的“Z"軸上，在“XY"平面上存在弱點。

特點

高精度交叉滾柱導(dǎo)軌
直接讀取增量或使用編碼器控制所有承軸
線性電機和/或滾珠絲桿驅(qū)動器
無限制編輯工具中心點位置和坐標位移
所有承軸零間隙

主要參數(shù)

XY軸行程60mm和100mm，蕞大450mm（無限制XY行程）
Z軸行程62mm（其他同類產(chǎn)品蕞大208mm）
Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續(xù)可調(diào) 360 Deg Theta-Z
XYZ 雙向重復(fù)性小于 ±100nm
角度雙向重復(fù)性小于 ±0.6 arc-sec
XY軸位移速度可達100mm/s，Z軸位移速度可達20mm/s Z (大于線性電機版)
線性不穩(wěn)定性小于20nm，角不穩(wěn)定性小于0.1 arc-sec

應(yīng)用

非球面和自由光光學檢測
封裝與探測硅光子
激光微加工（非平面基板和錐度控制）
晶圓測量
相機模塊的對準與裝配
傳感器/圖像穩(wěn)定性測試
光學元件的耦合

迷你六軸位移臺MINI Hybrid Hexapod

迷你六軸位移MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭對準/粘接到陣列的理想選擇。它在構(gòu)建相機陣列模塊、平移式OIS、用于手機相機和等日常產(chǎn)品中的微型相機

的望遠鏡集成鏡頭方面都很有幫助。任何需要6度自由定位的納米/弧秒級增量運動和重復(fù)性的應(yīng)用都非常適合該產(chǎn)品，因為產(chǎn)品傳感器分辨率的提高推動了對更高精度的需求。

大角度六軸位移臺Angulares Hybrid Hexapod

到目前為止，大角度六軸位移臺Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范圍。它非常適合應(yīng)用于非球面和自由曲面光學計量，硅光子學封裝和探測，激光微加工(非平面基片和錐度控制)，晶圓計量，相機模塊對準和裝配，傳感器/圖像穩(wěn)定測試，以及光學元件和光纖對準。

大角度六軸位移臺具有精密交叉滾子軸承導(dǎo)軌，光學增量或編碼器反饋在所有軸，直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動器，無限可編程的工具中心點位置和坐標偏移，和零后座力。它能夠無限XY位移,Z軸位移在使用其它三腳架模式下62mm增加到208mm，連續(xù)360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ雙向重復(fù)性小于+/- 0.6角秒，速度高達100mm/s XY和Z，小于10nm的線性和0.1弧秒的小增量角運動。

ALIO’s Hybrid Hexapod® 為 6D Motion 提供了一種革命性的方法，與傳統(tǒng)的六足設(shè)計相比，精度高出一個數(shù)量級，行程更長，速度更快，剛度更大。