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行業(yè)產(chǎn)品

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上海昊量光電設(shè)備有限公司


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膜厚測(cè)量?jī)x(厚度范圍1nm~1.8mm)

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美國(guó)Semisonsoft膜厚測(cè)量?jī)xMProbe-MAKINGTHINFILMSTHICKNESSMEASUREMENTEASY美國(guó)Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測(cè)厚儀測(cè)量厚度可以低至1nm,厚至1.8mm,埃級(jí)分辨率,非接觸式無(wú)損快速測(cè)量

詳細(xì)介紹

美國(guó)Semisonsoft膜厚測(cè)量?jī)x

MProbe - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY


美國(guó)Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測(cè)厚儀測(cè)量厚度可以低至1nm,厚至1.8mm,埃級(jí)分辨率,非接觸式無(wú)損快速測(cè)量。廣泛應(yīng)用在各種生產(chǎn)或研究中,比如測(cè)量薄膜太陽(yáng)能電池的CIGS層,觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。


測(cè)量原理:當(dāng)波長(zhǎng)范圍的光照射到薄膜上時(shí),從不同界面上反射的光相位不同,從而引起干涉導(dǎo)致強(qiáng)度相長(zhǎng)或相消。而這種強(qiáng)度的振蕩是與薄膜的結(jié)構(gòu)相關(guān)的。通過(guò)對(duì)這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關(guān)的光學(xué)常數(shù)。



比如:

半導(dǎo)體(硅,硅,多晶硅)

半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS)

微電子機(jī)械(MEMS)

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)

聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

高分子聚合物


MProbe膜厚測(cè)量?jī)x操作簡(jiǎn)單,只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率(n, k)和表面粗糙度等信息,膜厚測(cè)量設(shè)備可支持不同光譜范圍,光譜范圍可達(dá)200-1700nm,因此可測(cè)量厚度范圍可從1nm到2mm。 設(shè)備中無(wú)移動(dòng)組件,所以測(cè)量結(jié)果幾乎是即時(shí)得到的;TFCompanion測(cè)量軟件使得測(cè)量過(guò)程非常簡(jiǎn)單且透明,測(cè)量歷史、動(dòng)態(tài)測(cè)量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結(jié)果。


分類:

1、單點(diǎn)膜厚測(cè)量——MPROBE-20
2、單點(diǎn)手持膜厚測(cè)量——MPROBE HC
3、聚焦光斑膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 40
4、原位測(cè)量膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 50 INSITU

5、支持Mapping的聚焦膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 60


6、在線膜厚測(cè)量?jī)x——MProbe 70


關(guān)鍵詞:測(cè)厚儀 電池

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