集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。產(chǎn)品規(guī)格：ITEMSU3800SU3900二級(jí)電子分解能3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）背散射電子分解能4.0nm......

詳細(xì)介紹

集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。

產(chǎn)品規(guī)格：

ITEM		SU3800	SU3900
二級(jí)電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
二級(jí)電子分解能		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺(tái)	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續(xù)
	T	－20°～+90°
	可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機(jī)驅(qū)動(dòng)	5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	中心操控式鎢絲發(fā)射
	物像鏡頭光圈	4孔可動(dòng)光圈
	檢測(cè)系統(tǒng)	二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動(dòng)光軸調(diào)整功能	自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊）
		自動(dòng)調(diào)整光束亮度
	自動(dòng)圖像調(diào)整功能	自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制（ABCC）
		自動(dòng)對(duì)焦控制（AFC）
		自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF）
		自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
		自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)（ABA）
		自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器（UVD）、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長(zhǎng)色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺(tái)（加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)）