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K1000質(zhì)量流量控制器

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北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

K1000為高精度，高穩(wěn)定性的熱式質(zhì)量流量控制器。它的量程范圍從10sccm到1000sccm，K1000A為小流量量程MFC（從10sccm~50slm），具備多氣體多量程功能，8種BIN Size能對(duì)應(yīng)10sccm～50slm的所有流量，在校正時(shí)事先設(shè)定4種氣體的數(shù)據(jù)，通過(guò)軟件即可進(jìn)行氣體種類、流量的變更設(shè)定，操作簡(jiǎn)便；K1000C為大流量量程（200slm~1000slm），響應(yīng)速度快（≤3......

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢(shì)

? 傳感器部分采用哈氏合金，耐腐蝕性強(qiáng)。
? 產(chǎn)品精度高，可達(dá)99%～25%：±1.0% of S.P.、25%～2%：±0.25%F.S. 響應(yīng)時(shí)間快(≤1s)
? 產(chǎn)品具有多氣體多量程功能，可對(duì)氣體種類、流量的變更設(shè)定
? 支持大流量(可到1000L)數(shù)字模式通訊模式
? 產(chǎn)品通過(guò)CE、RoHS認(rèn)證

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	K1000A				K1000B	K1000C
流量規(guī)格(N2換算流量)	Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM
	Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM	Bin 6: 3SLM ~10SLM			60SLM 、100SLM、	200SLM、300SLM、
	Bin 3: 100SCCM~300SCCM	Bin 7: 10SLM~ 30SLM	Bin 8: 30 SLM ~50SLM		150SLM、200SLM	400SLM、500SLM	600SLM、1000SLM（N2, H2, Air 等)
	Bin 4: 300 SCCM ~1SLM
	Bin 5: 1SLM ~3SLM
閥類型	N/O：常開(kāi)型、N/C：常閉型					N/C：常閉型
流量控制范圍	2%～99%F.S.
準(zhǔn)確度	99%～25%：±1.0% of S.P.， 25%～2%：±0.25%F.S. （精度保證范圍15～35℃）				±1%F.S.(精度保證范圍15～35℃)	±2%F.S.(精度保證范圍15～35℃)
工作環(huán)境溫度	5～50℃				5～45℃
響應(yīng)時(shí)間	≦1sec				≦3sec
線性	±0.5%F.S.
重復(fù)精度	±0.2%F.S.
工作壓差范圍		N/O 　 100～300KPa (3SLM～10SLM)
	50～300KPa	N/O 　150～300KPa (11SLM～30SLM)		200～300KPa
	（Ar: 100～300KPa）	N/C 　100～300KPa (3SLM～30SLM)		（Ar: 250～450KPa）	100～300KPa	150～300KPa	300～450kPa (H2：150～300kPa)
		（Ar 200～3500KPa）
溫度系數(shù)	Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃
工作壓力	400KPa（Ar:500KPa）				700KPa
耐壓	1MPa
漏率	金屬密封：1×10^－11Pa?m³/sec He (1×10^－10 atm?cc/sec He)					橡膠圈密封：1×10^-7Pa?m³/sec He (1×10^－6 atm?cc/sec He)
	橡膠圈密封：1×10^－7Pa?m³/sec He (1×10^－6 atm?cc/sec He)
密封材料	金屬密封；氟橡膠；氯丁橡膠					氟橡膠；氯丁橡膠
通訊形式	模擬：0~5V DC 數(shù)字：RS485、DeviceNet、EtherCAT						模擬：0~5V DC 數(shù)字：RS485、DeviceNet、
電源	模擬/數(shù)字：+15VDC 50mA，-15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	VCR 1/4陽(yáng)接頭、雙卡套1/4陽(yáng)接頭、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal				VCR 3/8陽(yáng)接頭、雙卡套3/8陽(yáng)接頭	VCR 1/2陽(yáng)接頭、雙卡套1/2陽(yáng)接頭
重量	1.0kg				3.0kg	3.7kg