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1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF）

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產(chǎn)品型號(hào)CVD-TF14P40/50/60/80 CVD-TF14T40/50/60/80

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廠商性質(zhì)其他

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天津市泰斯特儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

此CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。優(yōu)點(diǎn) 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節(jié)能50%以上自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能，以確保使用的安全性…… 安全性過升報(bào)警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時(shí)。采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控......

詳細(xì)介紹

提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品性能：

1、爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節(jié)能50%以上

2、空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

3、啟動(dòng)電爐，排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動(dòng)運(yùn)行，試驗(yàn)結(jié)束后，排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風(fēng)機(jī)自行停止，有效保護(hù)了爐體表面

4、自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能，以確保使用的安全性

5、電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

6、加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對控制信號(hào)的干擾

7、自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來的控溫影響，避免人為調(diào)節(jié)的不準(zhǔn)確性和危險(xiǎn)性

8、采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，相應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。（氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)）

9、自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能，自動(dòng)控制模式能通過設(shè)定值自動(dòng)開啟/關(guān)閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動(dòng)控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實(shí)驗(yàn)的需要。（中真空控制系統(tǒng)）

10電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù)，使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開，使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確，也保證了廢氣不會(huì)返回到爐管系統(tǒng)影響實(shí)驗(yàn)效果（中真空控制系統(tǒng)）

安全性：

1、過升報(bào)警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時(shí)。

2、采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。

3、采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會(huì)泄露。

■ 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

單溫區(qū)

CVD-TF14P40

CVD-TF14P50

CVD-TF14P60

CVD-TF14P80

單溫區(qū)

CVD-TF14T40

CVD-TF14T50

CVD-TF14T60

CVD-TF14T80

性能

使用溫度范圍

300~1400℃

溫度分辨率

1℃

控溫精度

± 1℃

升溫速率

0~20℃/min

加熱區(qū)長度

200mm

400mm

恒溫區(qū)長度

70mm

140mm

真空度

-0.1MPa

空爐升溫時(shí)間

≤15min

配置爐管時(shí)升溫速度

500℃以下≤5℃/min；500-1000≤10℃/min；1000-1200≤5℃/min；1000-1400≤2℃/min

構(gòu)成

外裝

冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝

爐膛體

多晶莫來石纖維

爐膛尺寸

360*350*350mm

560*350*350mm

爐管

剛玉管

爐管尺寸

Φ40/34*1000

Φ50/44*1000

Φ60/50*1000

Φ80/70*1000

加熱器

硅碳棒

加熱功率

3KW

5KW

斷熱層

雙層強(qiáng)制風(fēng)導(dǎo)流

打開方式

無

控制器

P：進(jìn)口程序控溫?cái)?shù)碼顯示； T：7寸彩色觸摸屏程序控溫

控制方式

使用微型電腦PID控制

設(shè)定方式

P：輕觸五按鍵動(dòng)作、數(shù)顯設(shè)定； T：手指觸摸輕點(diǎn)設(shè)定

顯示方式

P：雙行LED數(shù)字顯示； T：彩色液晶屏顯示

定時(shí)

0~999.9小時(shí)

運(yùn)行功能

定值運(yùn)行、程序運(yùn)行

程序模式

P：程序運(yùn)行、4條曲線、共40步； T：50步可調(diào)用儲(chǔ)存程序

傳感器

S型熱電偶

附屬功能

P：校正功能； T：校正功能、實(shí)時(shí)曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導(dǎo)出

安全裝置

過流漏電保護(hù)開關(guān)

質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

氣路數(shù)量

3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）

流量范圍

0-0500sccm（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn)

精度

±1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

≤4s

工作溫度（流量計(jì)）

5-45℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力）

系統(tǒng)連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測量儀

中真空控制系統(tǒng)

系統(tǒng)真空范圍

10-100Pa

真空泵

雙級機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/s，出氣口配有油污過濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw

CVD系統(tǒng)配置

1400度真空管式爐多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) 真空系統(tǒng)

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量控制器真空泵電磁閥單向閥加熱器

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