5100系列是一款質(zhì)量流量控制器，它實現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1％精度。
板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。
- 通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現(xiàn)高精度，高速傳感器響應(yīng)
- 采用電磁鐵電磁閥常閉閥
- 由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
- 采用隔膜閥，減少死體積
- 面對面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應(yīng)速度 | 1秒內(nèi)（±2％F.S.內(nèi)） | |
| 準(zhǔn)確性 | ±1％F.S. | |
| 溫度系數(shù) | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | |
| 操作壓差范圍 | F.S.≤5SLM50. 300kPa | |
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa | ||
| 選項：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 | ||
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜SUS316L | ||
| 閥座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L，Ni，Au | ||
| 選項：SUS密封（SU），內(nèi)部磨削規(guī)格（KP） | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 流量設(shè)定 輸入信號 | 0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）200 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效選項1/4 SWL | |
| 重量 | 約1000g | |
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。
接線連接
Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)引腳排列
尺寸圖
