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深圳市天鉉真空技術有限公司


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武漢市MKS氣體流量控制器AR流量計GE50A004102SBV020廣東供應

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MKS氣體流量控制器AR流量計GE50A004102SBV020深圳市天鉉真空技術有限公司供應美國真空計流量計真空泵分子泵激光器INFICON皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S型標準真空計采用當今市場上的數字皮拉尼技術

詳細介紹

MKS氣體流量控制器AR流量計GE50A004102SBV020
深圳市天鉉真空技術有限公司供應美國真空計流量計真空泵分子泵激光器

INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標準真空計采用當今市場上的數字皮拉尼技術。 不銹鋼傳感器單元堅固耐用,結構設計緊湊,適用于半導體系統和標準應用,例如前級真空管。

益處

  • 輕松一鍵調節(jié) ATM 和 HV
  • 節(jié)省空間的堅固設計
  • 鋁質殼體
  • 可在任意方向安裝
  • 不銹鋼測量單元,帶金屬密封饋入裝置
  • 便于集成的對數信號輸出
  • 螺紋接頭,具有 10 巴過壓能力
  • 250 °C 烘烤型
  • 在腐蝕應用中可選購鎳絲
  • 陶瓷饋入裝置,適用于腐蝕性的應用 (PSG510 & PSG512)
  • 可選設定點
  • RoHS 合規(guī)
典型應用
  • 高真空電離真空計控制
  • 前級真空壓力監(jiān)控
  • 真空系統中的安全電路
  • 高真空和低真空范圍內的一般真空測量和控制

類型

PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
測量原則 thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
精度 (N2)
1 x 10-3… 100 毫巴 % of reading ±15% ±15% ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3 毫巴 % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
100 … 1000 毫巴 % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
可重復性(空氣)
1 x 10-3… 100 毫巴 % of reading 2% 2% 2% 2% 2%
輸出信號(測量信號)
電壓范圍 V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
測量范圍 V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
測量范圍(空氣、O2、CO、N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
設定點
設定點數量 2 2 2 2
設置范圍 mbar ? 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
滯后 % of reading ? 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold
繼電器觸點 V (dc)                                             A (dc) ? 30 30 30 30
繼電器觸點: 轉換時間 ms ? <20 <20 <20 <20
電源電壓
真空計上 V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
波紋 V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
電壓與壓強 logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
內部容積
DN 16 ISO-KF,DN 16 CF-R,7/16-20 UNF cm3 (in.3) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R 長管 cm3 (in.3) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8'' NPT,4 VCR,8 VCR,1/2'' 管 cm3 (in.3) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
容許溫度
運行 °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
真空連接 (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
貯存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
重量
DN 16 ISO-KF,7/16-20 UNF g 80 80 80 80 80
DN 16 CF-R,4 VCR g 100 100 100 100 100
1/8'' NPT,1/2'' 管 g 70 70 70 70 70
8 VCR,DN 16 ISO-KF 長管 g 130 130 130 130 130
DN 16 CF-R 長管 g 140 140 140 140 140
錯誤信號 V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
輸出電阻 ? 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
*小負載電阻 k? 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
反應時間 ms 80 80 80 80 80
真空計識別 k? 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
調整 one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
電流消耗 mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
功耗 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
電氣連接 FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
傳感器電纜 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
電纜長度 m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
暴露于真空的材料 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
單絲 W W Ni W Ni
容許壓力 bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
安裝定位 any any any any any
保護等級 IP40 IP40 IP40 IP40 IP40

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