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行業(yè)產(chǎn)品

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天津瑞利光電科技有限公司


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Meiritz主動(dòng)氣動(dòng)懸架系統(tǒng)MRZ-200

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產(chǎn)品型號(hào)MRZ-200

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更新時(shí)間：2024-05-03 08:37:46瀏覽次數(shù)：129次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹迄今為止，我們積累的知識(shí)已生產(chǎn)出600多種類型的被動(dòng)隔振器

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

迄今為止，我們積累的知識(shí)已生產(chǎn)出 600 多種類型的被動(dòng)隔振器。對(duì)我們的主動(dòng)隔振器的需求也在不斷增長(zhǎng)，尤其是在半導(dǎo)體等高精度制造行業(yè)。以MAPS系列為基礎(chǔ)，開發(fā)出高性能合理的主動(dòng)氣動(dòng)懸架系統(tǒng)MRZ系列?？蓱?yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、測(cè)量機(jī)等。

性能特點(diǎn)
  • 每個(gè)單元有兩個(gè)氣壓執(zhí)行器：垂直和水平，可以體驗(yàn)良好的隔振、準(zhǔn)確定位性能。
  • FB+FloorFF控制。
  • 實(shí)現(xiàn)輕巧緊湊，省電，價(jià)格合理。
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地:日本
  • 供給氣壓:0.6～0.8(潔凈干燥空氣)MPa
  • 典型耗氣量:45-65l/min
  • 耗氣量:120l/min
  • 電源電壓:100～240(單相交流電，50/60Hz)V
  • 功耗:120VA
  • 環(huán)境溫度:0～40℃
  • 相對(duì)濕度:35-85%RH
  • 隔振方式:通過(guò)氣壓控制隔振
  • 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
  • 控制器質(zhì)量:7.5kg
產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵詞：電子顯微鏡

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