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aixACCT激光干涉儀TF 3000

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更新時間：2024-11-01 20:27:52瀏覽次數(shù)：65次

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天津瑞利光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國aixACCT激光干涉儀TF 3000

主要型號：

TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

詳細介紹

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國aixACCT激光干涉儀TF 3000

aixACCT激光干涉儀TF 3000

相關(guān)產(chǎn)品介紹：

雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進行長達8英寸的晶圓表征。

用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經(jīng)過驗證的精度（x切割石英），max可達0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法，測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進行此類測量的主要障礙。

測量:

-機電大信號應變和極化測量。

-壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。

-電氣和機電性能疲勞。

aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS（微機電系統(tǒng)）設備的壓電和電氣可靠性測試。該系統(tǒng)的分辨率和可重復性優(yōu)于2％，可大規(guī)模生產(chǎn)。整個裝置包括位于減振室內(nèi)的光學組件，TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。

技術(shù)數(shù)據(jù):

-解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測試

-位移/應變測量:50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

至25 V（可選）

-壓電d 33系數(shù)：

偏壓：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

-電致伸縮M 33：類似于d 33

-C（V）測量:

偏壓：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之濱天津，地理位置得天獨厚，交通運輸便利，進出口貿(mào)易發(fā)達。憑借著歐洲的*，我們始終為客戶提供歐美工業(yè)技術(shù)、*等發(fā)達*的光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業(yè)自動化控制設備產(chǎn)品，同時擁有多個品牌的*經(jīng)銷和代理權(quán)。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀數(shù)據(jù)采集顯微鏡自動化控制