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UP1L科研用超高純氣體純化器

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更新時間:2022-10-08 13:26:23瀏覽次數:339次

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產品簡介

超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院十三五重點產業(yè)化方向

詳細介紹

超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院“十三五”重點產業(yè)化方向。在“十二五”期間項目科研成果基礎上研發(fā)的氣體純化材料,具有處理量大、去除雜質種類多、吸附深度大、使用壽命長等優(yōu)點,并以此為核心技術開發(fā)出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時,有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力,成套的純化材料生產、純化器組裝技術,以及完善的純化器性能測試條件,可根據用戶需求設計完整解決方案、定制非標產品,并提供各項性能檢測服務,目前產品已應用于理化所、、西南化工研究設計院、北京師范大學、北京航空航天大學、北京科技大學、國家有色金屬材料檢測中心,哈爾濱師范大學等單位獲得應用。
UP1L 超高純氣體純化器采用活性金屬為化學吸附劑,當原料氣通過活性金屬純化床時,氣體中O 2,H2O,N2,CO,CO2,CH4等雜質氣體與活性金屬發(fā)生化學吸附反應,根據原料氣純度不同,一次純化后出口氣體純度即達到 7N-8N,可實現無人值守全自動運行,并具有實時監(jiān)測、故障報警和反饋等功能。為保證產品質量,純化器系統管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接,漏率低于 109 Pa;關鍵部件焊接、組裝、生產均在千級超凈環(huán)境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可 以用來確定在給定操作條件的材料。它也可以被用來預測使用壽命和壽命周期成本。
 
UP系列氣體純化器

 
   
             UP1L                                                       UP10M
 

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結果
 
氣體類型 H2 O2/Ar N2 CH4 CO CO2 H2O 單位
原料氣 0.074 <0.01 0.248 <0.01 <0.01 <0.01 未測試 ppm
純化后 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.033 ppm
 
部分用于現場照片
 

 
山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現場,分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的的綠色。
 
 
 
 北京科技大學CVD設備用的多臺UP1L氬氣純化器
 
 
 
             西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器
 
 


搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統,用于人造鉆石生產高純氫場合
 

 
UP1L 超高純氣體純化器產品參數:
l  原料氣純度要求:≥99.999%,He/Ar/H2 /N2
l  產品氣純度:≥99.99999%
l  產品氣雜質含量:
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
N2 ≤10ppb(原料氣非 N2
H2 ≤10ppb(原料氣非 H2
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
l  工作流量:1000sccm
l  內置顆粒過濾器:2 微米
l  軟件功能:可顯示多達7種工作狀態(tài)或故障報警,并具有壽命計時及提醒功能
l  擴展功能:多臺純化器可同一終端批量控制,也可與其他設備集成使用
l  工作壓力:1.0MPa
l  進出氣接口:1/8″卡套或VCR 接頭
l  純化柱及管路:EP級316不銹鋼
l  電源電壓及功率:220V,0.8kw
l  產品外形尺寸:170×160×320mm
 
氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中的重要裝備,并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項技術的工藝性能。UP1L 超高純氣體純化器系列主要服務于各類科研與分析儀器,如氣相色譜儀、輝光質譜儀、光譜儀、鍍膜機等,為其提高高純度載氣或分析氣,也可用于保證材料氣相沉積生長、磁控濺射鍍膜、高精度焊接等用氣純度。
氣體種類 產品用途 應用領域
He 載氣、保護氣純化 色譜儀等分析儀器載氣
Ar 載氣、保護氣、吹掃氣純化 輝光質譜儀、磁控濺射、納米材料制備,熱處理保護氣,氬弧焊吹掃氣
N2 保護氣、吹掃氣純化 磁控濺射反應氣、氣路吹掃氣
H2 反應氣、保護氣純化 材料生長、鍍膜反應氣、退火保護氣
 
 
 
 






 
 

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