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InSEM 系列系列產(chǎn)品既可以工作在真空環(huán)境下，如與 SEM 或 FIB 結(jié)合進(jìn)行各種原位測(cè)試；也可以直接在大氣環(huán)境下測(cè)試樣品的硬度、楊氏模量或者其它物理力學(xué)性能，如直接與各類光學(xué)顯微鏡、原子力顯微鏡以及各種 3D 輪廓儀聯(lián)用。XYZ 三向納米馬達(dá)可以輕松各種高精度的定位的要求. 的“Flip"設(shè)計(jì)，又能確保方便的原位力學(xué)和整個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的視頻捕捉，力學(xué)測(cè)試和SEM/FIB 結(jié)合，既能實(shí)現(xiàn)常溫的原位力學(xué)實(shí)驗(yàn)，又能進(jìn)行超高溫的原位力學(xué)測(cè)試，同時(shí)業(yè)內(nèi)實(shí)現(xiàn)原位狀態(tài)下的磨損測(cè)試和泊松比的測(cè)量。

關(guān)鍵詞：光學(xué)顯微鏡顯微鏡輪廓儀