佛山潔凈烘箱
無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
一．佛山潔凈烘箱用途:
PVC無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
二．佛山潔凈烘箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。
三．佛山潔凈烘箱產品技術參數：
1.主要技術指標：
無塵等級：Class 100; 溫度范圍： 60～ +300℃；
溫度均勻度：200℃±4℃; 溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃; 工作尺寸：W800×D600×H1300
電源：380v , 50Hz，15KW 網板：2塊（高度可調節(jié))
潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。*小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，*多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。
| 型號 | 溫度范圍 | 內容積 | 其它參數 | 內尺寸
（W×H×Dmm） | 外尺寸
（W×H×Dmm） |
| PVC-178 | (RT+60)～+200℃ | 178L | 潔凈度：100級 | 580×530×580 | 770×1,280×1,025 |
| PVC-380 | (RT+60)～+200℃ | 380L | 潔凈度：100級 | 580×1130×580 | 770×1,880×1,025 |
| PVC-678 | (RT+60)～+200℃ | 678L | 潔凈度：100級 | 800×1130×750 | 1,030×1,880×1,025 |
| PVHC-178 | (RT+60)～+350℃ | 178L | 潔凈度：100級 | 580×530×580 | 770×1,280×1,025 |
| PVHC-380 | (RT+60)～+350℃ | 380L | 潔凈度：100級 | 580×1,130×580 | 770×1,880×1,025 |
| PVHC-678 | (RT+60)～+350℃ | 678L | 潔凈度：100級 | 800×1,130×750 | 1030×1,880×1,210 |
| PVHC-347MS | (RT+60)～+300℃ | 347L | 潔凈度：100級 | 580×1,130×530 | 770×1,880×1,025 |
| PVHC-633MS | (RT+60～+300℃ | 633L | 潔凈度：100級 | 800×1,130×700 | 1,030×1,880×1,210 |
2、箱體結構：
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
內膽材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
中桶材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3、溫控系統(tǒng)：
采用中國臺灣“宣榮"CAHO溫度控制器，控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定，**度±0.3%FS。；
訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
4、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、 控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示 逆向防止器、 門面安全開關
5、選購設備(需另外收費)：
可程式溫控器 無紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
注:無塵等級和尺寸可根據要求定制。
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