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TS2000-HP Probe System 半自動(dòng)化探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)

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TS2000-HPProbeSystem半自動(dòng)化探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)MPI的TS2000-HP半自動(dòng)化探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)可提供8英寸及以下晶圓器件的高功率測(cè)量，*的ShielDEnvironment™可提供低噪聲和屏蔽的測(cè)試環(huán)境

詳細(xì)介紹

TS2000-HP Probe System 半自動(dòng)化探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)

MPI的TS2000-HP半自動(dòng)化探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)可提供8英寸及以下晶圓器件的高功率測(cè)量，*的ShielDEnvironment™可提供低噪聲和屏蔽的測(cè)試環(huán)境。
為高電壓和大電流量測(cè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)
? 適合至高 10kV / 600A （脈沖）的晶圓高功率組件量測(cè)
? 提供載片下的高功率動(dòng)、靜態(tài)參數(shù)的測(cè)試
? 晶圓載物臺(tái)表面鍍金，小化接觸電阻；真空吸孔優(yōu)化，適合裝載至薄 50 µm 的薄晶圓
? 可選配搭載 Taiko 晶圓載物臺(tái)
? 提供抗電弧解決方案
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
? 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境
? 支援飛安低漏電值量測(cè)
? 溫度量測(cè)范圍 -60 °C to 300 °C

安全系統(tǒng)

采用可互鎖的安全光幕，可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。

該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護(hù)，以提供簡(jiǎn)便的初始安全測(cè)量設(shè)置。