橢偏儀橢偏儀CME-MSE01-PV用于測(cè)量和分析光伏領(lǐng)域中多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚度）和物理參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k），典型樣品包括：絨面單晶和多晶太陽(yáng)電池上的單層減反膜（如SiNx，SiO2，TiO2，Al2O3等）和多層減反膜（如，SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx ?/Al2O3?等），以及薄膜太陽(yáng)電池中的多層納米薄膜。

詳細(xì)介紹

CME-MSE01-PV是針對(duì)光伏太陽(yáng)能電池研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的高性能光譜橢偏儀。

CME-MSE01-PV用于測(cè)量和分析光伏領(lǐng)域中多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚度）和物理參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k），典型樣品包括：絨面單晶和多晶太陽(yáng)電池上的單層減反膜（如SiNx，SiO2，TiO2，Al2O3等）和多層減反膜（如，SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx ?/Al2O3?等），以及薄膜太陽(yáng)電池中的多層納米薄膜。

特點(diǎn)：

粗糙絨面納米薄膜的高靈敏測(cè)量

*的光能量增強(qiáng)技術(shù)、高信噪比的探測(cè)技術(shù)以及高信噪比的微弱信號(hào)處理方法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)粗糙表面散射為主和極低反射率為特征的絨面太陽(yáng)電池表面鍍層的高靈敏檢測(cè)。

晶體硅多層減反膜檢測(cè)

專門(mén)針對(duì)多層薄膜檢測(cè)而設(shè)計(jì)，可滿足晶體硅太陽(yáng)能電池領(lǐng)域中的雙層膜，如（SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx ?/Al2O3等）的檢測(cè)。

秒級(jí)的快速測(cè)量

的快速橢偏采樣方法、***的關(guān)鍵部件、自動(dòng)化的測(cè)量軟件，在保證高精度和準(zhǔn)確度的同時(shí)，可在10秒內(nèi)快速完成一次測(cè)量。

一鍵式儀器操作

對(duì)于常規(guī)操作，只需鼠標(biāo)點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的測(cè)量、建模、擬合和分析過(guò)程，豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)也同時(shí)方便了用戶的***操作需求。

應(yīng)用：

CME-MSE01-PV可用于測(cè)量絨面單晶或多晶硅太陽(yáng)電池表面上納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數(shù)k，包括：?jiǎn)螌訙p反膜（如， SiNx， TiO2，SiO2，A12O3等）、雙層納米薄膜（如，SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx ?/Al2O3等），以及多層納米薄膜。

CME-MSE01-PV的應(yīng)用也覆蓋了傳統(tǒng)光譜橢偏儀所測(cè)量的光面基底上的單層和多層納米薄膜，典型應(yīng)用包括：半導(dǎo)體（如：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等）、平板顯示（TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等）、功能性涂料：（增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層，以及高分子、油類、Al2O3表面鍍層和處理等)、生物和化學(xué)工程（有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理、液體等）等。

技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
光譜范圍	240nm-930nm（絨面測(cè)量時(shí)為350-850nm）
單次測(cè)量時(shí)間	10s,取決于測(cè)量模式
膜厚測(cè)量重復(fù)性（1）	0.05nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
折射率精度（1）	1x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
入射角度	40°-90°自動(dòng)調(diào)節(jié)
光學(xué)結(jié)構(gòu)	PSCA（Δ在0°或180°附近時(shí)也具有的準(zhǔn)確度）
樣品臺(tái)尺寸	一體化樣品臺(tái)輕松變換可測(cè)量單晶或多晶樣品
樣品臺(tái)尺寸	兼容125125mm和156156mm的太陽(yáng)能電池樣品
樣品方位調(diào)整	Z軸高度調(diào)節(jié)：±6.5mm
	二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
	樣品對(duì)準(zhǔn)：光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
軟件	?多語(yǔ)言界面切換
	?太陽(yáng)能電池樣品預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用
	?安全的權(quán)限管理模式（管理員、操作員）
	?方便的材料數(shù)據(jù)庫(kù)以及多種色散模型庫(kù)
	?豐富的模型數(shù)據(jù)庫(kù)