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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

廣州安特激光技術有限公司


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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間：2024-05-24 08:36:45瀏覽次數(shù)：152次

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商鋪產(chǎn)品：209條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：　　微電子應用激光器（SE-Version）:半導體加工，掩模檢查，微光刻和計量激光器，滿足CE標志和SEMIS2標準

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：

　　微電子應用激光器（SE-Version）: 半導體加工，掩模檢查，微光刻和計量激光器，滿足CE標志和SEMI S2標準。 所有半導體采用全金屬/陶瓷技術，以最小的服務實現(xiàn)最長的激光壽命。比標準的， SE型具有潔凈室封裝，長的腔室壽命和更長的氣體壽命。

產(chǎn)品參數(shù)：

參數(shù)

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波長 nm

157

193

248

308

351

能量.mJ

3

20

35

15

15

能量控制范圍，mJ

1~3

5~20

10~35

7~15

7~15

穩(wěn)定能量   200Hz

2.5

15

30

15

12

平均功率 W 300/600

0.6/1.2

4/7

6/12

3/6

3/6

穩(wěn)定性標準偏差

<1%   重復頻率

重復率，Hz

300/600/1000

動態(tài)態(tài)氣體壽命

2.00E+08

2.00E+08

5.00E+08

1.00E+08

3.00E+08

靜態(tài)氣體壽命 50%能量

15days

60days

90days

>1year

90days

脈沖長度，ns

12~15

光束尺寸，ns

5×3

8×3

發(fā)散，mrad全角

1×2

冷卻方式

風冷

光學服務

5.00E+08

3.00E+08

1.00E+09

1.00E+08

3.00E+08

注：如需詳細規(guī)格參數(shù)資料，或有其他要求，請聯(lián)系我們。

主要應用：

替代激光器

電離源

微加工

精確標記

屈光手術

拉曼光譜



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