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SJ6000激光干涉儀

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北京恒創(chuàng)博茂電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹 SI6000激光干涉儀產(chǎn)品簡介：SI6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、SJ6000激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測長、測角度、測直線度、測垂直度、測平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

詳細(xì)介紹

SI6000激光干涉儀介紹：

SI6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

1、可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

2、可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3、可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

4、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

5、具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

6、支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SI6000激光干涉儀優(yōu)點(diǎn)：

SI6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺。

SJ6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀線性測量：

SI6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SI6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量速度：4m/s

SJ6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀角度測量：

角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動(dòng)過程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過運(yùn)算處理，即可得出對應(yīng)的角度值

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

SJ6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀直線度測量：

直線度干涉鏡在移動(dòng)過程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過運(yùn)算處理，即可得出對應(yīng)的直線度值。

直線度測量

軸向量程	測量范圍	測量精度	分辨力
短距離	(0.1~4.0)m	±3mm	±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm 0.01μm
長距離	(1.0~20.0)m	±3mm	±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm 0.1μm

注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀平面度測量：

平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測量分辨力：0.1μm

SI6000激光干涉儀垂直度測量：

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測量

	軸向量程	測量范圍	測量精度	分辨力
短距離	(0.1～3.0)m	±3/M mm/m	±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m	0.01μm/m
長距離	(1.0～15.0)m	±3/M mm/m	±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m	0.01μm/m

注：R為垂直度結(jié)果；M為測量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀

SI6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.1″

轉(zhuǎn)速：10rpm

跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍(lán)牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發(fā)盒

信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號

輸出形式：10μs脈沖

觸發(fā)延時(shí)：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

SI6000激光干涉儀配置清單：

序號	名稱	明細(xì)	備注
1	SI6000主機(jī)	1臺，配云臺、電源適配器	標(biāo)配
2	通用三腳架	1個(gè)，配便攜包
3	筆記本電腦	1臺，配測量軟件
4	環(huán)境補(bǔ)償單元	環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個(gè)，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器
		空氣溫度探頭：1個(gè)，線長5米
		材料溫度探頭：3個(gè)，線長5米
5	標(biāo)配附件	USB線：2根
		磁性表座：2個(gè)
		安裝柱：4節(jié)
		輔助安裝塊：1塊
		水平儀：1個(gè)
6	線性鏡組	線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個(gè)，夾緊孔座2個(gè)
7	便攜式拉桿箱	1個(gè)，外尺寸：613mm×460mm×230mm
8	線性附件	三坐標(biāo)測頭夾具：1套	選配
9		輕型線性鏡組：小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè)	選配
10		可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡：1個(gè)	選配
11	角度鏡組	角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè)	選配
12	平面度鏡組	180mm、360mm可調(diào)基板，各1個(gè)，平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè)	選配
13	短直線度鏡組	短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡，各1個(gè)	選配
14	長直線度鏡組	長距離直線度干涉鏡、長距離直線度反射鏡，各1個(gè)	選配
15	直線度附件	大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡、直線度底座、M8接頭，各1個(gè)	選配
16	垂直度鏡組	光學(xué)直角尺、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊，各1個(gè)	選配
17	自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺	1臺，配卡盤、USB數(shù)據(jù)線、USB電源適配器、藍(lán)牙工具	選配
18	正交觸發(fā)盒	1臺，配電源適配器、觸發(fā)數(shù)據(jù)線	選配
19	工作服	夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服，各1件	選配