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GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀 高純氣體

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氦離子化氣相色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)

詳細(xì)介紹

  

 

氦離子化氣相色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè),儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測(cè)器,采用中心切割與反吹技術(shù),配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器,通過(guò)無(wú)死體積取樣或在線進(jìn)樣方式,一次性完成上述高純氣體中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常見(jiàn)雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測(cè),檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí),重復(fù)性RSD≤1%。

 GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。該產(chǎn)品以GC-126氣相色譜儀為載體,配備VALCO公司的氦離子化(PDHID)檢測(cè)器;采用克柔姆公司擁有技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù),其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥;上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。 
    
高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,不僅需要高靈敏的檢測(cè)器,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附、取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié),克柔姆色譜公司總結(jié)了高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)難點(diǎn),并給出了所有難點(diǎn)的解決措施,使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為國(guó)內(nèi)*的高純氣體分析系統(tǒng),很好的完成了氣體中微量雜質(zhì),特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析

一、氣相色譜分析純氣的現(xiàn)狀
氣相色譜分析純氣中雜質(zhì)因其具有各種*性而不可替代。如同時(shí)可檢測(cè)多個(gè)組分,分析時(shí)間短,操作簡(jiǎn)便,分析技術(shù)靈活多變,價(jià)格低,能自動(dòng)化檢測(cè)與計(jì)算機(jī)控制等優(yōu)點(diǎn),因而其產(chǎn)品受到廣大用戶的歡迎。在純氣分析方面的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)已有一定數(shù)量上已經(jīng)采用了氣相色譜法。但現(xiàn)狀仍與國(guó)際上有較大的差距。
1、技術(shù)研究與創(chuàng)新方面
從發(fā)表論文上看,在上世紀(jì)八十—九十年代國(guó)內(nèi)出現(xiàn)過(guò)研究分析痕量雜質(zhì)氣體的繁榮時(shí)代。但近十年來(lái)新的檢測(cè)方法、技術(shù)與儀器、檢測(cè)器研究進(jìn)展緩慢、創(chuàng)新乏力、論文發(fā)表數(shù)量減少,無(wú)長(zhǎng)期統(tǒng)一規(guī)劃和穩(wěn)定的投入,研究與分析隊(duì)伍不斷壯大,同時(shí)又有待素質(zhì)提高。至今還無(wú)一本“高純氣體分析技術(shù)"的專著問(wèn)世。
2、“國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)"反應(yīng)技術(shù)落后
總體看有關(guān)高純氣的“國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)"中,其中分析方法與國(guó)際水平比較明顯落后,儀器化水平低,其中有一部分才能與之水平相近。還有些“標(biāo)準(zhǔn)"仍采用比色法為主,檢測(cè)方法不能儀器化。例如在“科研氧標(biāo)準(zhǔn)"(GB8982—1998)中反應(yīng)出的問(wèn)題*為集中。在標(biāo)準(zhǔn)的“技術(shù)指標(biāo)"中除氧含量指標(biāo)(≥99.5%)外,雜質(zhì)含量無(wú)任何數(shù)據(jù),都是“按規(guī)定方法試驗(yàn)合格"。而所有的規(guī)定方法都是化學(xué)吸收法或比色法。分析結(jié)果只有“合格"與“不合格",無(wú)數(shù)據(jù)記錄。這對(duì)指導(dǎo)廠家是不利的。至今多數(shù)廠家不具備**按“規(guī)定"抽檢的技術(shù)與條件。使用單位(醫(yī)院與相關(guān)研究單位)更難投入組建分析人員與條件。有的廠家只是向科研單位送檢一次、檢驗(yàn)合格后再不對(duì)該項(xiàng)檢測(cè)。
二、檢測(cè)器與檢測(cè)技術(shù)
1、檢測(cè)器
目前用于純氣中雜質(zhì)氣體分析的氣相色譜檢測(cè)器有如下幾種。
⑴熱傳導(dǎo)池檢測(cè)器(TCD)
該檢測(cè)器的**指標(biāo)可以達(dá)到ppm級(jí)檢測(cè)。與變溫濃縮法配合可以檢測(cè)到ppb級(jí),例如高純氫氣,超純氫的檢測(cè)可以測(cè)到0.1ppb(0.1x10-9V/V)級(jí)。[4、6、12、20]
⑵氣敏檢測(cè)器
在檢測(cè)高純氮?dú)獾膰?guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T8980—1996)中用此檢測(cè)器可以檢測(cè)到此0.1ppm雜質(zhì)氫氣。
⑶氫火焰離子化檢測(cè)器(FID)
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T8984.1—3—1997)氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳烴化合物的測(cè)定是利用火焰離子化法轉(zhuǎn)化后,直接測(cè)定,可檢測(cè)*小濃度0.1ppm。配合變溫濃縮可測(cè)到1 ppb。
⑷改性離子檢測(cè)器(M—ArID)[10,14]
將氬離子化檢測(cè)器改性后可以檢測(cè)高純氬中的氫、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳雜質(zhì)氣,*小檢測(cè)濃度可到0.1ppm。
⑸氦離子化檢測(cè)器(HeID)[3,16]
該檢測(cè)器大多使用檢測(cè)高純氦氣中雜質(zhì)氣體,直接檢測(cè)可到1ppb [3,16]。也有與切換技術(shù)配合檢測(cè)其它高純氣中雜質(zhì)氣[15]。
⑹電子捕獲檢測(cè)器(ECD)
該檢測(cè)器可以檢測(cè)高純氮?dú)?、氬氣、一氧化碳等氣中的痕量氧(ppb級(jí))。
另外還有氧化鋯檢測(cè)器[17]、離子遷移檢測(cè)器等。
2、檢測(cè)技術(shù)
氣相色譜法分析氣體雜質(zhì)采用的檢測(cè)技術(shù)有變溫濃縮法、柱中轉(zhuǎn)化法、柱切換法和流程變化法等。
⑴變溫濃縮法
變溫吸附濃縮法是將一定量的樣品氣中雜質(zhì)氣低溫吸附在樣管中吸附劑上,解凍加熱進(jìn)樣的方法。因而實(shí)際進(jìn)樣量大大大于樣管體積(102~104倍),雜質(zhì)氣就從ppb級(jí)變成ppm級(jí)分析[1,4]。用此法要求底氣不被冷凍、吸附或沸點(diǎn)高于雜質(zhì)氣,如用于濃縮氫中雜質(zhì)、氧中的烴類等。附變溫吸附濃縮法外,還有化學(xué)反應(yīng)濃縮法與特殊濃縮法,它們使用在特種氣體的檢測(cè)。
⑵柱中轉(zhuǎn)化法
柱中轉(zhuǎn)化法是樣品進(jìn)樣后、在色譜分離柱前或后,經(jīng)過(guò)一個(gè)催化劑或化學(xué)反應(yīng)管(可以控制一定溫度)。其中某雜質(zhì)氣參加反應(yīng),變成另一種氣體被檢測(cè)。如一氧化碳與二氧化碳在火焰離子化檢測(cè)器上無(wú)響應(yīng),但經(jīng)鎳催化劑(有氫氣參加)后變成甲烷氣就響應(yīng)了,并能檢測(cè)到0.1ppm。與濃縮配合可檢測(cè)到ppb。氣相色譜分析微量水時(shí)也采用此法。微量水與柱中碳化鈣(Ca2C)反應(yīng)生成乙炔,用火焰離子化檢測(cè)能到小于1ppm的水分。
⑶柱切換法[2,7]
該法又稱多維色譜法。它是利有閥或“無(wú)閥"切換將主成分(底氣)大部分切去后,余下雜質(zhì)氣體再經(jīng)二次分離后檢測(cè)[2]。如采用高靈敏度的氦離子化檢測(cè)器檢測(cè)氧中雜質(zhì),氫氣和氖氣中雜質(zhì)氣[15]。
⑷流程變化法
利用色譜柱的串聯(lián)、并聯(lián)達(dá)到分離雜質(zhì)氣,也能與上述三種方法聯(lián)合使用達(dá)到分離檢測(cè)多種雜質(zhì)氣的目的。檢測(cè)器也能串聯(lián)、并聯(lián)使用,但需滿足串并的檢測(cè)器都使用同一種載氣。
以上技術(shù)大都對(duì)常規(guī)氣體的檢測(cè),而對(duì)更多的特種高純氣應(yīng)采用特殊的技術(shù)[21—28]。
 
氣相色譜法分析高純氣的幾點(diǎn)認(rèn)識(shí)
內(nèi)容中提出的高純氣體分析中出現(xiàn)的“本底"、“*小檢測(cè)濃度"和“定量與誤差",都是痕量分析中的理論問(wèn)題、也是實(shí)際問(wèn)題。這里不敘述理論的推導(dǎo),但用理論解決問(wèn)題,主要就實(shí)際中的認(rèn)識(shí)問(wèn)題重點(diǎn)論述,歡迎參加討論。
1、本底
“本底"是指在色譜載氣中含有的被測(cè)雜質(zhì)氣體,配標(biāo)準(zhǔn)氣用底氣中含的被測(cè)雜質(zhì)氣;測(cè)試系統(tǒng)(載氣系統(tǒng)與樣品氣系統(tǒng))帶來(lái)的或被漏入的(以氧、氮為主)該雜質(zhì)氣。大多數(shù)濃度型檢測(cè)器都要求本底值遠(yuǎn)小于它的*小檢測(cè)濃度。當(dāng)載氣中本底值大于樣品氣中某雜質(zhì)濃度時(shí),該雜質(zhì)氣會(huì)出現(xiàn)“反峰"。配制標(biāo)準(zhǔn)氣的底氣要求就更嚴(yán)格了,否則本底值直接影響定量了。但是質(zhì)量檢測(cè)器(以火焰離子化檢測(cè)器為主的)是例外。我們?cè)跈z測(cè)氧中烴類雜質(zhì)時(shí)發(fā)現(xiàn),用純氮?dú)猓?個(gè)“9")作載氣(氫氣和空氣相同),也能檢測(cè)到0.1ppm的烴(一般國(guó)產(chǎn)色譜儀),乃至20—50ppm的烴雜質(zhì)氣。這是因?yàn)檩d氣中的雜質(zhì)(氧、氫、一氧化碳、二氧化碳FID上無(wú)響應(yīng),甲烷含量≤5ppm)因濃度不變,只能使檢測(cè)器(FID)產(chǎn)生一個(gè)相應(yīng)穩(wěn)定的“基流",只要基數(shù)平衡、噪聲小,0.1ppm的烴類雜質(zhì)氣仍舊可以在基線上出一個(gè)峰。氣相色譜定量規(guī)定,*小的檢測(cè)峰的判定:*小的峰峰高值是二倍于噪聲值。過(guò)去國(guó)產(chǎn)儀器只能檢測(cè)0.1ppm的烴是因?yàn)閮x器的總噪聲值較高。只要將總噪聲值下降一個(gè)數(shù)量級(jí),則*小檢測(cè)峰就會(huì)提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。我公司的FID敏感度指標(biāo)仍是Mt≤1×10-11g/s(正十六烷),和其它廠家的指標(biāo)一樣,但總噪聲值低。因此,“氫焰型氣相色譜儀只能檢測(cè)與本底電流值相近"的說(shuō)法是缺乏根據(jù)的。而我們?cè)倮脻饪s法,使烴中乙炔檢測(cè)可以測(cè)到ppb級(jí)。
本底值影響**的是分析高純氣中氮和氧(空氣中的主要成分)。經(jīng)純化后的載氣如仍產(chǎn)生本底影響,其主要原因是漏氣產(chǎn)生的。管路中有接頭、閥、表等就不可避免會(huì)漏入空氣。我們只能控制一定漏量,使之不影響分析。也就說(shuō)“漏氣"是**的,“不漏"只是相對(duì)的。例如使用高純氬氣分析儀時(shí),為保證分析純氣純度**優(yōu)于6個(gè)“9"。我們將載氣凈化到7個(gè)“9"以上,留出一定“空間",使“漏氣"后仍滿足分析要求。在高純氣體分析儀上不允許使用有機(jī)材料作密封(因?yàn)榭諝庵械?、氧能穿透有機(jī)材料滲透進(jìn)入系統(tǒng)中),包括各種橡膠,聚四氟乙烯等[27];另外,還要盡量少用卡套。檢測(cè)時(shí)樣氣(標(biāo)氣)流路也一樣存在漏氣問(wèn)題。我們已找到改變分析操作能判斷是否有漏氣方法,并能大致確定漏量大小。還有“在檢測(cè)<20ppb超低微量氣體成分時(shí),不能采用紫銅及一般不銹鋼材料"的說(shuō)法也欠根據(jù)。氦離子化檢測(cè)器和電子捕獲檢測(cè)器都是能直接撿測(cè)ppb級(jí)的檢測(cè)器,在儀器上我們?nèi)杂靡话阕香~與不銹鋼管作連接管與色譜柱,只是要將管內(nèi)清洗和置換干凈就能滿足要求[27]。在校驗(yàn)方法上,有人說(shuō)“市售瓶裝標(biāo)準(zhǔn)氣含量在1—20ppm內(nèi),使用這種濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣去校驗(yàn)1—20ppb濃度的含量數(shù)據(jù),兩種數(shù)據(jù)大小相關(guān)1000倍,這是完全不合理的。"這是外行批評(píng)內(nèi)行的話!好象批評(píng)者能配出含量為1—20ppb的標(biāo)準(zhǔn)氣?因?yàn)楹苊黠@目前還沒(méi)有人能擁有純度為9個(gè)“9"的配標(biāo)準(zhǔn)氣的底氣?;谀壳爸荒芘渲瞥鰌pm級(jí)標(biāo)準(zhǔn)氣,**底氣純度擁有保證;**個(gè)問(wèn)題是配氣誤差。只要查一下國(guó)家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)的一級(jí)[GBW]和二級(jí)[GBW(E)]氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)(共300多種)[11],就可知道氣瓶標(biāo)氣*小配制濃度只能到1ppm。第三考慮到濃縮法能將ppb變?yōu)閜pm級(jí)和檢測(cè)器可以保證的線性范圍。因而用ppm的標(biāo)準(zhǔn)氣校驗(yàn)ppb級(jí)就不足奇怪。理論與技術(shù)上的研究,在許多內(nèi)容上都是使“不可能"“不合理"的事,讓它在一定條件下成為可能。
2、*小檢測(cè)濃度
色譜檢測(cè)器*小檢測(cè)濃度取決于,一是檢測(cè)器的敏感度。敏感度愈高檢測(cè)器檢測(cè)的雜質(zhì)濃度愈低;二是色譜峰的峰寬愈?。ㄖв撸瑱z測(cè)雜質(zhì)氣濃度愈低。具體對(duì)于*小的峰峰高**是噪聲的兩倍信號(hào)。任何色譜儀檢測(cè)器的*小檢測(cè)值就是*小檢測(cè)濃度。儀器操作者都應(yīng)知道,低于此濃度的值(沒(méi)有出峰)不應(yīng)是“0",而應(yīng)是小于*小檢測(cè)濃度值。理論上也認(rèn)為只能接近于“0",而不能等于“0"。對(duì)于連續(xù)監(jiān)測(cè)的數(shù)字顯示儀所顯示的“0"也應(yīng)這樣看,因?yàn)轱@示不能表示出小于它*小檢測(cè)濃度的值來(lái)。因而所有儀器在檢測(cè)雜質(zhì)時(shí),如果未能測(cè)出含量,則給報(bào)告中,該組分含量就應(yīng)寫出小于*小檢出濃度值,而不能寫“0"。
3、定量與誤差
每臺(tái)氣相色譜儀分析高純氣體**做到有相應(yīng)被測(cè)雜質(zhì)氣的敏感度和較好重復(fù)性。我們認(rèn)為在保證上述條件和滿足本底要求條件下,儀器的定量誤差主要取決于標(biāo)準(zhǔn)氣的準(zhǔn)確度(可靠性)。對(duì)于痕量成分重復(fù)測(cè)量的相對(duì)誤差往往比常量分析大的多。對(duì)0.1—10ppm濃度的檢測(cè)重復(fù)性(相對(duì)誤差),在10—20%的相對(duì)誤差也是較好的;PPT級(jí)的雜質(zhì)氣,可以允許有一個(gè)數(shù)量級(jí)之差。在定量方法上都采用了“外標(biāo)法",即使用標(biāo)準(zhǔn)氣校正。在實(shí)驗(yàn)室可以做到用多種配制標(biāo)準(zhǔn)氣方法較正,能擁有較高的可靠性。而在實(shí)際使用中難度很大,因此國(guó)家在標(biāo)準(zhǔn)氣的配制上要求是很嚴(yán)格的。
 

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