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萬濠AE-100E 白光干涉儀

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產(chǎn)品型號AE-100E

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更新時(shí)間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù)：957次

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常州銳品精密儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)域包含

詳細(xì)介紹

AE-100
產(chǎn)品用途
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)域包含
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 奈米深度3D檢測 ● 高速/無接觸量 ● 表面形狀/粗糙度分析 ● 非透明/透明材質(zhì)皆適用 ● 非電子束/非雷射的安全量測 ● 低維護(hù)成本
專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析 ● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能 ● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式 ● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度 ● （waviness）的測量分析?？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer） ● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析。 ● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。 ● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解體軟體（ImaScan）
● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋 ● 垂直高度可達(dá)0.1nm ● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結(jié)果 ● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇 ● 平臺XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利 ● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得*的干涉條紋對比。 ● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。 ● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。 ● 具有自動(dòng)布補(bǔ)點(diǎn)功能 ● 可自行設(shè)定掃描方向
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號	AE-100M
移動(dòng)臺（mm）	平臺尺寸100100 ，行程1313
物鏡放大倍率		10X	20X	50X
觀察與量測范圍		0.43*0.32	0.21*0.16	0.088*0.066
光學(xué)分辨力（um）		0.9	0.69	0.5
收光角度（Degrees）		17	23	33
工作距離		7.4	4.7	3.4
傳感器分辨率	640*480像素
機(jī)臺重量（kg）/載重kg	20kg/小于1kg
Z軸移動(dòng)范圍	45mm , 手動(dòng)細(xì)調(diào)
Z軸位置數(shù)字顯示器	分辨率1um
傾斜調(diào)整平臺	雙軸/手動(dòng)調(diào)整
	高度測量
測量范圍	100（um）（400um ,選配）
量測分辨力	0.1mm
重復(fù)精度	≤ 0.1％（量測高度:>10um） ≤10um（量測高度1um 10um） ≤ 5nm（量測高度:<1um ）
量測控制	自動(dòng)
掃描速度（um/s）	12（zui高）
	光源
光源類型	儀器用鹵素（冷）光源
平均使用壽命	1000小時(shí)100W 500小時(shí)（150W）
光強(qiáng)度調(diào)整	自動(dòng)/手動(dòng)
	數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算器
*處理運(yùn)算屏幕	雙核心以上CUP
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕	17 " 雙晶屏幕
操作系統(tǒng)	Windows XP（2）
電源與環(huán)境要求	AC100 --240 V 50-60Hz
環(huán)境震動(dòng)	VC-C等級以上
	量測與分析軟件
量測軟件	ImScan量測軟件具VSI/ PVS/PSI 量測模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配） PosTopo 分析軟件
分析軟件	ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利業(yè)轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D 觀測視角圓，外形/面積/體積分析，圓像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換報(bào)表輸出，程序教導(dǎo)量測等。