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NX20全自動大面積AFM

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更新時間：2024-02-18 14:33:17瀏覽次數(shù)：251次

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八帆儀器設(shè)備（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

NX20全自動大面積AFM

詳細(xì)介紹

用于缺陷分析和大型樣品研究的納米計量工具

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。

概述

大全面的分析功能

Park NX20具備無二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。。

即便是次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。

技術(shù)特點

為FA和研究實驗室提供精確的形貌測量解決方案

樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量

NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所的。

對樣品和基片進行表面光潔度測量

表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來精確的失效分析和質(zhì)量保證。

高分辨率電子掃描模式

QuickStep SCM

的掃描式電容顯微鏡

PinPoint AFM

無摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

多種的技術(shù)幫助顧客減少測試時間

CrN樣品所做的針尖磨損實驗

AFM測量

低噪聲Z探測器測量準(zhǔn)確的樣品表面形貌

沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達(dá)到非常精準(zhǔn)樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準(zhǔn)。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時也為您節(jié)省了寶貴的時間。

使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量。
在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm。

沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
終身無需校準(zhǔn)，減少設(shè)備維護成本

Park NX系列原子力顯微鏡

傳統(tǒng)的原子力顯微鏡

Park NX20特點

低噪聲XYZ位置傳感器

行業(yè)的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

自動多點掃描

借助驅(qū)動樣品臺，步進掃描可編程步進掃描,多區(qū)域成像，以下是它的工作流程：

掃描成像
抬起懸臂
移動驅(qū)動平臺到設(shè)定位置
進針
重復(fù)掃描

該自動化功能可大大減少掃描過程中人工移動樣品所需時間，從而縮短測試時間，提高生產(chǎn)率。

滑動嵌入SLD鏡頭的自主固定方式

您只需滑動嵌入燕尾導(dǎo)軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計可將鏡頭自動鎖定至預(yù)對準(zhǔn)的位置，同時與復(fù)位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關(guān)性低的SLD，顯微鏡可精確成像并可準(zhǔn)確測定力-距離曲線。

高級掃描探針顯微鏡模式和選項的擴展槽

只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設(shè)計，其生產(chǎn)線設(shè)備兼容性得到大大提高

高速24位數(shù)字控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。該控制器是個全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計和高速處理單元，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測量的選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級研究員的。

XY和Z軸檢測器的24位信號分辨率