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上海杜美精密儀器有限公司


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高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡

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產(chǎn)品型號Verios

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更新時間:2024-04-22 12:30:12瀏覽次數(shù):237次

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產(chǎn)品簡介

VeriosXHRSEMVerios是FEI的XHR(高分辨率)SEM系列的第二代產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

Verios XHR SEM

 

Verios FEI XHR(高分辨率)SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造和材料科學(xué)應(yīng)用中,它可在 1 30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級分辨率以及增強(qiáng)的對比度,滿足材料精密測量所需,同時又不會削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢。

 

Verios 的材料科學(xué)應(yīng)用

 

對材料科學(xué)家來說,Verios 可以將亞納米表征拓展到當(dāng)下正在開發(fā)的全新材料(例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結(jié)構(gòu)),從而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活用于各類研究應(yīng)用,能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣本之類的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析,也可以開展精確的原型設(shè)計應(yīng)用,例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。

 

出色的低電壓 SEM 分辨率和材料對比度

 

Verios 旨在增加您實驗室的可發(fā)表成果。Verios 可以將 500 eV 30 keV 完整能量范圍內(nèi)的亞納米級分辨率擴(kuò)展到新型材料(例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結(jié)構(gòu))。無需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活運用于各類研究應(yīng)用,能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣品之類的大樣品。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析,也可以開展精確的原型設(shè)計應(yīng)用,例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。

 

探索高分辨率 SEM 呈現(xiàn)的世界 

Verios FEI XHR SEM 系列的第二代產(chǎn)品,通過 1 30 kV 能量范圍的亞納米級分辨率來提供準(zhǔn)確成像。它能夠在多種應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)提供精確測量材料所需的出色對比度,而不影響高通量、分析功能、樣品靈活性和傳統(tǒng) SEM 的易用性。Verios 具備技術(shù),例如可提高熱穩(wěn)定性的恒功率鏡頭以及可提高偏轉(zhuǎn)線性的靜電掃描。在選擇參數(shù)、處理大樣品或支持更多應(yīng)用(如分析或光刻)方面,它非常靈活。借助 Verios XHR SEM,無論是臨時用戶還是專家,都能在短時間內(nèi)獲得準(zhǔn)確、完整的納米量級數(shù)據(jù),發(fā)現(xiàn)以前使用其他技術(shù)時無法獲得的信息。

 


關(guān)鍵詞:掃描電子顯微鏡 催化劑
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