通過光學輪廓儀對三維形貌的測量可以評定表面質量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過指導加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。
中圖儀器SuperViewW1光學3d表面輪廓儀以白光干涉技術為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
性能參數(shù)
型號 | W1 |
光源 | 白光LED |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 |
干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× |
光學ZOOM
| 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× |
標準視場 | 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×) |
XY位移平臺
| 尺寸
| 320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ |
負載 | 10kg |
控制方式 | 電動 |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 |
形貌重復性 | 0.1nm |
粗糙度RMS重復性 | 0.005nm
|
臺階測量 | 準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ) |
可測樣品反射率 | 0.05%~100 |
主機尺寸 | 700×606×920㎜ |
產(chǎn)品功能
1)SuperViewW1光學3d表面輪廓儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
應用領域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
性能特色
1、高精度、高重復性
1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;
2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性;
2、環(huán)境噪聲檢測功能
具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,降低人為操作風險。
5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。