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LY1000非接觸式激光干涉儀

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更新時間：2023-02-28 13:11:36瀏覽次數(shù)：435次

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北京鐳測科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

高靈敏度，不需要靶鏡，非接觸式測量可測的微、小、輕、薄、黑、透、易變形、熱表面對被測物表面反射率無嚴(yán)格要求，可測“黑"表面采用激光自干涉原理，測量結(jié)果可溯源無外部光學(xué)器件，操作靈活方便可非接觸測量物體的位移、振動，以及材料膨脹系數(shù)等。

詳細介紹

傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測量光線獲得高精度的測量結(jié)果。鐳測科技推出的國際的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無需靶鏡，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實現(xiàn)高精度測量，是真正意義上的非接觸式測量。除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測量目標(biāo)外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測量，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機械位移、材料膨脹系數(shù)、振動等。

以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點：

1、高靈敏度，可實現(xiàn)對非配合目標(biāo)的非接觸式測量
2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程，測量結(jié)果可以溯源。

LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達納米量級，量程可達2m，如果加擴束鏡，可達數(shù)米。它同干涉儀一樣，測量結(jié)果可以溯源到光波長，從而無需標(biāo)定。
產(chǎn)品由激光測頭、信號處理電箱和軟件組成。

（欲了解更多信息，請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：非接觸式激光干涉儀（激光回饋干涉儀））

型號	鐳測LY1000
激光頭尺寸	300mm×126mm×90mm
激光頭重量	4kg
激光工作波長	1064nm
激光功率	1~5mW
激光光束直徑	3~5mm
工作溫度范圍	+10℃~+35℃
儲存溫度范圍	+15℃~+50℃
系統(tǒng)組成	激光頭、控制箱、環(huán)境補償傳感器、連接電纜
激光穩(wěn)頻精度	1×10^-6
線性測量范圍	2m
線性測量精度	1×10^-6
分辨率	2nm
被測物反射率	10^-7~1
測量速度	50mm/s