可以保護(hù)機(jī)械設(shè)備的高應(yīng)力液壓元件免受磨損、附著、腐蝕、氣蝕和變形。在高壓、高流速和高轉(zhuǎn)速的情況下，使用低可燃、基于水的液體介質(zhì)時(shí)（HFA、HFC），潤滑不良時(shí)，吸入研磨性介質(zhì)時(shí)仍確保可靠的運(yùn)行。

詳細(xì)介紹

壓縮機(jī)螺桿真空鍍膜機(jī)制備的硬質(zhì)涂層可以保護(hù)機(jī)械設(shè)備的高應(yīng)力液壓元件免受磨損、附著、腐蝕、氣蝕和變形。在高壓、高流速和高轉(zhuǎn)速的情況下，使用低可燃、基于水的液體介質(zhì)時(shí)（HFA、HFC），潤滑不良時(shí)，吸入研磨性介質(zhì)時(shí)仍確?？煽康倪\(yùn)行。真空鍍膜設(shè)備真空鍍室的真空密封和室內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件的設(shè)計(jì)和用材，充分考慮可承受高溫，配置多只高效園形電弧蒸發(fā)源，或配多個(gè)矩形平面電弧蒸發(fā)源，也可配多只空心陰極槍，同時(shí)配置耐沖擊的、具有優(yōu)異滅閃弧性能的偏壓電源，保證足夠等離子體密度和反應(yīng)活性，提高膜層致密性和結(jié)合力。工件可三維運(yùn)動(dòng)，提高膜層均勻性。全自動(dòng)控制提高工藝穩(wěn)定性?？慑冎芓iN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多層超硬膜等。

HCSH-380	有效空間	應(yīng)用技術(shù)	靶材
	Ø400x H450mm	CMARC	2pcs×3
	生產(chǎn)周期	標(biāo)準(zhǔn)涂層	可選涂層
	3-5小時(shí)/爐	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	軟件	產(chǎn)量/爐
	磁懸浮分子泵等離子清洗氣體刻蝕	工業(yè)可編程系統(tǒng) 工業(yè)PC系統(tǒng) 專家遠(yuǎn)程診斷系統(tǒng)	洗刀 D4×50mm=864 D10×75mm=264 刀片 D18×5mm=1440 滾刀 D80×80mm=15
HCSH-600	有效空間	應(yīng)用技術(shù)	靶材
	Ø600 x H500mm	CMARC	2pcs×3
	生產(chǎn)周期	標(biāo)準(zhǔn)涂層	可選涂層
	4-6小時(shí)/爐	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	軟件	產(chǎn)量/爐
	磁懸浮分子泵脈沖偏壓 HCD等離子刻蝕	工業(yè)可編程系統(tǒng) 工業(yè)PC系統(tǒng) 專家遠(yuǎn)程診斷系統(tǒng)	洗刀 D4×50mm=1920 D10×75mm=512 刀片 D18×5mm=3276 滾刀 D80×80mm=40
HCSH-650	有效空間	應(yīng)用技術(shù)	靶材
	Ø650 x H750mm	CMARC	4pcs×3
	生產(chǎn)周期	標(biāo)準(zhǔn)涂層	可選涂層
	3-6小時(shí)/爐	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	軟件	產(chǎn)量/爐
	磁懸浮分子泵脈沖偏壓等離子刻蝕	工業(yè)可編程系統(tǒng) 工業(yè)PC系統(tǒng) 專家遠(yuǎn)程診斷系統(tǒng)	洗刀 D4×50mm=4032 D10×75mm=880 刀片 D18×5mm=6400 滾刀 D80×80mm=64
HCSH-900	有效空間	應(yīng)用技術(shù)	靶材
	Ø900 x H1200mm	CMARC	6pcs×3
	生產(chǎn)周期	標(biāo)準(zhǔn)涂層	可選涂層
	5-8小時(shí)/爐	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	軟件	產(chǎn)量/爐
	磁懸浮分子泵脈沖偏壓等離子刻蝕	工業(yè)可編程系統(tǒng) 工業(yè)PC系統(tǒng) 專家遠(yuǎn)程診斷系統(tǒng)	洗刀 D4×50mm=8640 D10×75mm=2200 刀片 D18×5mm=1200 滾刀 D80×80mm=140

涂層種類	涂層名稱	顏色	涂層成分	顯微硬度	使用溫度	摩擦系數(shù)	涂層厚度
氮化物陶瓷	HAL	黑色	ALTiN	3800	900	0.6	2.5±0.5
	HAL Plus	黑色	ALTiN	3800	900	0.6	4±0.5
	HAL Mini	黑色	ALTiN	3500	900	0.6	1.5±0.5
	HAL B	紫黑	ALTiN	3600	900	0.6	2.5±0.5
	HAR	銀色	CrN	2000	700	0.3	3±0.5
	HAT	金黃	TiN	2400	600	0.5	3±0.5
	HAS	古銅	AlTiSiN	3800	1000	0.4	3±0.5
	HATC	灰色	TICN	3500	400	0.2	2±0.5
	HATC Plus	古銅	TICN	3200	400	0.25	2±0.5
	HART	金黃	CrTiN	2500	600	0.4	2.5±0.5
	HRA	藍(lán)灰	AlCrN	3500	1000	0.4	4±0.5
	HRAT	灰色	AlTiCrN	3200	900	0.4	3±0.5
DLC	HCC	黑色	CrN+W-C:H	2200	300	0.2	2±0.5
DLC	HCMC	黑色	Cr+W-C:H+DLC	1800	300	0.1	2±0.5