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電子工業(yè)無塵廠房檢測

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更新時間：2023-09-05 08:16:21瀏覽次數(shù)：155次

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蘇州益康環(huán)境檢測有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡述：電子工業(yè)無塵廠房檢測項目風(fēng)量（換氣次數(shù)）或風(fēng)速、靜壓差、高效過濾器（PAO）檢漏、懸浮粒子數(shù)、氣流流型、溫度、相對濕度、噪聲、照度、自凈時間、密閉性檢測、臭氧濃度、隔離檢漏、表面靜電檢測等。

詳細(xì)介紹

電子工業(yè)無塵廠房檢測電子工業(yè)潔凈室檢測潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別。

電子工業(yè)潔凈廠房的檢測項目風(fēng)量（換氣次數(shù)）或風(fēng)速、靜壓差、高效過濾器（PAO）檢漏、懸浮粒子數(shù)、氣流流型、溫度、相對濕度、噪聲、照度、自凈時間、密閉性檢測、臭氧濃度、隔離檢漏、表面靜電檢測等。

電子潔凈室檢測項目
風(fēng)量（換氣次數(shù)）或風(fēng)速測試	溫度、相對濕度檢測
靜壓差測試	噪聲檢測
已安裝的空氣過濾器泄漏測試	微振檢測
潔凈度檢測（塵埃粒子檢測）	自凈時間檢測
氣流流型檢測	密閉性檢測
照度測試	表面靜電性能檢測

檢測對象

檢測標(biāo)準(zhǔn)

電子無塵室/潔凈室

《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50472-2008

《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50073-2013
《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB50591-2010

電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB50472-2008

D.3 潔凈室測試方法

D.3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 對于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸，測點應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點。每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2 對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。

3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個測試位置的測點數(shù)不應(yīng)少于3點。

D.3.2 靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。

2 儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

3 潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。

D.3.3 已安裝的空氣過濾器泄漏測試（高效過濾器檢漏），應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 儀器應(yīng)使用采樣量大于1 l／mm的光學(xué)粒子計數(shù)器。

2 應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10⁷P／m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm／s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

D.3.4 潔凈室潔凈度檢測潔凈度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)使用采樣量大于1 l／min光學(xué)粒子計數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。

2 最少采樣點應(yīng)按下式計算：

N_L＝A^0.5 (D．3．4—1)

式中 N_L——最少采樣點；

A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。

采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

3 每一采樣點的每次采樣量應(yīng)按下式確定：

4 當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個采樣點時，則在該點應(yīng)至少采樣3次。

D.3.5 氣流流型的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。

2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

3 示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。

4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇／正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

6 氣流目測的測點位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

D.3.6 溫度、相對濕度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運行1.0h后進(jìn)行。

2 相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格面積應(yīng)為100㎡，應(yīng)每格一個測點，但每個房間不應(yīng)少于2個測點。

3 檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

4 檢測時間應(yīng)至少1.0h，并應(yīng)至少6mm進(jìn)行1次(30s)讀數(shù)、記錄。

D.3.7 噪聲檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。

2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m，距墻應(yīng)大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100㎡設(shè)一檢測點。

D.3.8 照度測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。

2 照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

3 照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25㎡設(shè)一個測點。

D.3.9 微振檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場所的檢測，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測試。

2 微振檢測點應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計的要求設(shè)置，一般檢測點應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。

3 微振控制的檢測應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行?，F(xiàn)場檢測數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過科學(xué)分析后，提供微振控制檢測報告，應(yīng)包括檢測數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。

D.3.10 自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。

2 自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測，同時應(yīng)符合下列要求。

1)以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運行相當(dāng)時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N₀)。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間(t)。

2)以人工塵源為基準(zhǔn)時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N₀)。然后開機，方法同上。

3 由初始濃度(N₀)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n)，可得到計算自凈時間t₀)，與實測自凈時間(t)進(jìn)行對比，如果t≤1. 2t₀，為合格。

4 自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。