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1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：GSL-1700X-F3LV產(chǎn)品概述：GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2torr，可以混合1-3種氣體

詳細(xì)介紹

型號(hào)：GSL-1700X-F3LV

產(chǎn)品概述：GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

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加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根)

工作溫度

1650℃（<2h）（更新時(shí)間：19.12.10--JS2）

1600℃（長(zhǎng)期工作溫度）

升溫速率

5℃/min

降溫速率