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1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

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長沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡介

型號：OTF-1200X-80-I-F3LV產(chǎn)品概述：OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，其真空度可達(dá)到10-2torr.免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅用于宣傳用途，僅供參考

詳細(xì)介紹

型號：OTF-1200X-80-I-F3LV

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差，請勿復(fù)制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù)，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，請勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同，公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。

技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

高溫爐殼體	· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
功率	2.5 KW
電壓	AC 208-240V 單相, 50/60 Hz
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長使用壽命）
工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
升溫速率	≤20 ℃
爐管材質(zhì)和尺寸	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加熱區(qū)長度	400 mm
控溫系統(tǒng)	· PID30段程序化控溫控溫儀表操作視頻
控溫精度	+/- 1 ℃
真空密封系統(tǒng)	兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥），漏氣率6 mtorr/min
真空泵	采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。
防腐型真空計(jì)	· 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
混氣系統(tǒng)	· 三個(gè)浮子流量計(jì) · 三路浮子量程分別為 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min 內(nèi)部安裝有一混氣罐
尺寸	· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm
尺寸	· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm
凈重	約60kg
開門斷電	為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
運(yùn)輸重量	200
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期（不包括爐管、加熱元件和密封圈的損耗件） CE Certificate
使用注意事項(xiàng)	· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）