型號：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL產(chǎn)品概述：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹

型號：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL

產(chǎn)品概述：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于生長納米線、石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。

免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實物的偏差，請勿復(fù)制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù)，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，請勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同，公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。

技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL （2019.11.14-科晶實驗室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭，便于觀察等離子發(fā)光（圖1）；

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強(qiáng)，從而顯著降低實驗溫度；

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；

? 此款設(shè)備可安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦（圖2、3）；

? 此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表（圖4）。

產(chǎn)品特點圖1.JPG 產(chǎn)品特點圖2.jpg 產(chǎn)品特點圖3.PNG 圖片1.png

基本參數(shù)

? 工作溫度1500℃（<30min）；連續(xù)使用溫度1400℃；

? 三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃，帶有超溫和斷偶保護(hù)；

? 輸入電源： 208-240V，AC，單相；功率：6.6 KW；

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點擊圖片查看詳細(xì)資料）

? 注意：此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。

圖片1.png 圖片2.png

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10^-2Torr。

低真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

一路	0-100 sccm
二路	0-200 sccm
三路	0-200 sccm
四路	0-500 sccm

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

四通道質(zhì)子圖1.jpg 四路質(zhì)子圖2.png

產(chǎn)品尺寸和重量

? 爐體尺寸：550mm L ′380mm W′520mm H

? 爐體下端移動柜：1800mm L′600mm W′600mm H

? 凈重：100 kg

? 運輸重量：550 kg

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

圖片5.jpg

承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

關(guān)鍵詞：流量計溫度控制器真空泵

商鋪：http://www.niunang.cn/st709901/

主營產(chǎn)品：合肥科晶材料技術(shù)有限公司 -------------------------- 箱式爐、管式爐、CVD系統(tǒng)及電池成套設(shè)備。湖南湘魯科學(xué)儀器有限公司--------------電池恒溫測試箱、真空干燥箱、高低溫測試箱。北京泊菲萊科技有限公司 ------------------------- 光催化設(shè)備、氙燈光源。上海駭思、上海和泰儀器有限公司 -------------------- 超純水機(jī)。芬蘭艾斯瑪特生物技術(shù)有限公司 ------------------- 移液器武漢藍(lán)電電子有限公司 ------------------------ 電池測試系統(tǒng)、超級電容器測試系統(tǒng)。梅特勒、賽多利斯、奧豪斯、上海佑科 -------------------------- 電子天平。美國PINE公司 ----------------------------------- 旋轉(zhuǎn)圓盤電極裝置、雙恒電位儀。上海佑科、上海光譜儀器有限公司 ---------------------- 紫外、分光光度計、原子吸收。上海辰華儀器有限公司 ---------------------------- 電化學(xué)工作站。上海一恒、精宏、博訊 --------------------------- 干燥箱、培養(yǎng)箱、高低溫試驗箱等。中科美菱、中科都菱低溫科技有限責(zé)任公司 ------ 超低溫冰箱、冷藏箱等湖南湘儀、湖南邁克爾、長沙英泰 --------------- 離心機(jī)。上海亞榮、長城、予華、愛博特 ------------------- 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器。昆山美美超聲儀器有限公司、湖南湘魯 ---------------------------- 超聲波清洗器等。上海一恒、上海貝茵 ---------------------- 智能恒溫?fù)u床. 大龍興創(chuàng)實驗儀器（北京）有限公司 -------------- 移液器、磁力攪拌器、電動攪拌器。 IKA、上海司樂儀器有限公司 ---------------------- 磁力攪拌器。寧波新芝、北京博醫(yī)康 ---------------------- 冷凍干燥機(jī)。臨海市譚氏、北京中興偉業(yè) ---------------------- 真空泵。

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)

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